ＨＰＣ－２０
装置の概要
この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。タッチパネルとシーケンサー制御を搭載し、誰でも簡単に全自動で試料の導電成膜処理を行うことが可能です。ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。ホローカソード内は一様な高密度プラズマが発生するため、試料の高さや材質に影響されることなく、円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。
用途
SEM、TEM用のオスミウムコーティング装置です。粒径が細かく回り込み性に優れているため、高倍率観察用途や、複雑形状の試料に効果的です。また、極薄膜のOs導電コーティングにより、EBSD分析、オージェ分析、X線分析にも応用されます。
主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ(単相１００Ｖ１５Ａ)１口 アース線付３芯プラグ使用（３ｍ） |
| 装置サイズ | 幅４７０ｍｍ、奥行４００ｍｍ、高さ４１２ｍｍ （重量２５Ｋｇ） |
| ロータリーポンプ | 幅１２０ｍｍ、長さ２９０ｍｍ、高さ２５０ｍｍ 排気速度３０ℓ／ｍｉｎ 特殊オイル専用ロータリーポンプ （重量１１Ｋｇ） |
| 試料室サイズ | 内径１２０ｍｍ、高さ７７ｍｍ（硬質ガラス製） |
| 電極 | アノード：Φ１１０ｍｍ カソード：内径Φ１０８ｍｍ、深さ３５ｍｍ （弊社特許によるホローカソード方式） |
| 試料ステージサイズ | Φ９８ｍｍ、ホローカソード内にフローティング設置 |
| 搭載可能試料サイズ | Φ９８ｍｍ、試料台を含めた高さ４５ｍｍ |
| オスミウムアンプル規格 | 太さ：Φ１２．８ｍｍ以内 高さ：寸胴タイプ６０ｍｍ以下、アンプルタイプ６５ｍｍ以下 |
| OsO4消費量（使用回数） | １ｇアンプル１本あたり約１００回（標準使用条件の場合） （使用頻度、成膜時間によって使用回数が変動します） |
| 二か国語表示機能 | 日本語、英語表示切替機能搭載 |
オプションについて
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