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HPC-20

HPC-20

装置の概要
この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。タッチパネルとシーケンサー制御を搭載し、誰でも簡単に全自動で試料の導電成膜処理を行うことが可能です。ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。ホローカソード内は一様な高密度プラズマが発生するため、試料の高さや材質に影響されることなく、円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。

用途
SEM、TEM用のオスミウムコーティング装置です。粒径が細かく回り込み性に優れているため、高倍率観察用途や、複雑形状の試料に効果的です。また、極薄膜のOs導電コーティングにより、EBSD分析、オージェ分析、X線分析にも応用されます。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)1口
アース線付3芯プラグ使用(3m)
装置サイズ 幅470mm、奥行400mm、高さ412mm
(重量25Kg)
ロータリーポンプ 幅120mm、長さ290mm、高さ250mm
排気速度30ℓ/min 特殊オイル専用ロータリーポンプ
(重量11Kg)
試料室サイズ 内径120mm、高さ77mm(硬質ガラス製)
電極 アノード:Φ110mm
カソード:内径Φ108mm、深さ35mm
(弊社特許によるホローカソード方式)
試料ステージサイズ Φ98mm、ホローカソード内にフローティング設置
搭載可能試料サイズ Φ98mm、試料台を含めた高さ45mm
オスミウムアンプル規格 太さ:Φ12.8mm以内
高さ:寸胴タイプ60mm以下、アンプルタイプ65mm以下
OsO4消費量(使用回数) 1gアンプル1本あたり約100回(標準使用条件の場合)
(使用頻度、成膜時間によって使用回数が変動します)
二か国語表示機能 日本語、英語表示切替機能搭載

オプションについて

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