ＭＳＰ－２０ＴＫ
この装置は電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性を持っています。
ターゲット材料は主にタングステンを使用し、その他の特殊金属においてもコーティング可能な金属は多数存在します。
電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。
必須ユーティリティについて
アルゴンガス
二次側圧力０．０５ＭＰａ～０．０８ＭＰａ、接続１／４インチスウェージロック
白金粒子（左）に比較して、タングステン粒子（右）は非常に細かく、高倍率領域（２０万倍以上）での観察をサポートします。
主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ、１５Ａ アース線付３芯プラグ使用３ｍ |
| 装置サイズ | 幅３５４、奥行き３６８ｍｍ、高さ４３０ｍｍ （装置重量２２Ｋｇ） |
| ロータリーポンプ | 排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１） （重量１４．６ｋｇ） |
| 試料室サイズ | 内径１４９ｍｍ、深さ１２６ｍｍ |
| 試料ステージ | Φ４７ｍｍ フローティング方式 |
| ターゲット－試料 間隔 | ５０ｍｍ～７０ｍｍ |
| 搭載可能試料サイズ | Φ４５ｍｍ、高さ３０ｍｍ以下 |
| ターゲット | Ｗ（標準）、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｔｉ等 貴金属ターゲット（磁場キャンセルＮｉプレート使用） Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ |
