操作画面
ＴＶＳ－４０Ｔ
本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダーポートはお客様のお使いのＴＥＭホルダーに合わせて製造いたします。
ＴＥＭホルダーについて
ＴＥＭホルダーポートを４本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。ＴＥＭメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。
独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き（ＮＷ４０フランジ）
操作性
タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。
主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ、１０Ａ。アース線付３芯プラグ使用。 |
| 装置サイズ | 幅５８５ｍｍ、奥行き５５５ｍｍ、高さ３９２ｍｍ（奥行寸法はＴＥＭホルダーにより異なります） （装置重量３６ｋｇ） |
| 排気系 | ２０Ｌ／ｍｉｎダイヤフラムポンプ（外置き） ６７Ｌ／ｓｅｃターボ分子ポンプ（装置内蔵） |
| 到達真空度 | ５ｘ１０－４Ｐａ以下 |
| 真空度測定 | フルレンジ真空計 |
ランプ加熱ユニット
加熱方式：集光凹面鏡レンズ付ハロゲンランプによる加熱。
放熱方式：ファンによる空冷放熱。
温度制御：熱電対測温ＰＩＤ制御、電子タイマースイッチ付。
制御電源サイズ：535 W x 550D x 185 H
プラズマクリーニング ユニット
電 源 ： AC100V（単相 100V）3A, アース線付 3 芯プラグ使用
クリーニング対象：電子線照射により堆積したコンタミ除去及び付着防止。
ガス導入：ニ－ドルバルブマニュアル調整、ガスパ－ジ用電磁バルブ ON/OFF 方式
プラズマガス：空気、アルゴン、アルゴン／酸素、他対応
安全対策：系統別ヒューズ採用
プラズマ電源 ：周波数 13.56 MHz, 出力 0 ～50 W 可変、出力表示 ディジタルメータ
プラズマ点火表示ランプ付、プラズマ照射時間制御電子タイマー付
タイマー ：0～1,2, 3, 12, 30／sec, min, hr 各自由設定．電子タイマー
プラズマ電源サイズ ：250W X 300D X 135H 重量 9Kg
プラズマ銃サイズ ：70mmΦ X 220L プラズマ銃取付 NW-40
ガス ：0.08～0.1 MPa, 配管 1／4” スウェジロック（ガスボンベ及び減圧弁はユーザ準備）
※ランプ加熱及びプラズマクリーニングユニットポートの使用はＴＥＭホルダー形状により制限がございます。
特に、異なるメーカーホルダーの共用はできません。
