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TVS-40T



操作画面

TVS-40T

本装置はTEMホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。TEMホルダーポートはお客様のお使いのTEMホルダーに合わせて製造いたします。

TEMホルダーについて
TEMホルダーポートを4本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。TEMメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。
独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き(NW40フランジ)

操作性
タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。

主な製品仕様

項目 仕様
入力電源 AC100V、10A。アース線付3芯プラグ使用。
装置寸法 W585mmxD555mmxH392mm
(D寸法はTEMホルダーにより異なります)
装置重量 36kg
到達真空度 5x10-4Pa以下
ターボ分子ポンプ・ダイヤフラムポンプ
排気系 ターボ分子ポンプ : 80㍑/sec
ダイヤフラムポンプ: 20㍑/sec
真空度測定 フルレンジ真空計

オプションについて

ランプ加熱ユニット
加熱方式:集光凹面鏡レンズ付ハロゲンランプによる加熱。
放熱方式:ファンによる空冷放熱。
温度制御:熱電対測温PID制御、電子タイマースイッチ付。
制御電源サイズ:535 W x 550D x 185 H
プラズマクリーニング ユニット
電 源 : AC100V(単相 100V)3A, アース線付 3 芯プラグ使用
クリーニング対象:電子線照射により堆積したコンタミ除去及び付着防止。
ガス導入:ニ-ドルバルブマニュアル調整、ガスパ-ジ用電磁バルブ ON/OFF 方式
プラズマガス:空気、アルゴン、アルゴン/酸素、他対応
安全対策:系統別ヒューズ採用
プラズマ電源 :周波数 13.56 MHz, 出力 0 ~50 W 可変、出力表示 ディジタルメータ
プラズマ点火表示ランプ付、プラズマ照射時間制御電子タイマー付
タイマー :0~1,2, 3, 12, 30/sec, min, hr 各自由設定.電子タイマー
プラズマ電源サイズ :250W X 300D X 135H 重量 9Kg
プラズマ銃サイズ :70mmΦ X 220L プラズマ銃取付 NW-40
ガス :0.08~0.1 MPa, 配管 1/4” スウェジロック(ガスボンベ及び減圧弁はユーザ準備)

※ランプ加熱及びプラズマクリーニングユニットポートの使用はTEMホルダー形状により制限がございます。
特に、異なるメーカーホルダーの共用はできません。

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