Loading

MSP-40T

MSP-40T

この装置は多目的簡易操作型マグネトロンスパッタ成膜装置です。小形卓上型・小スペース装置で、強磁場による多種金属の成膜が可能です。

必須ユーティリティについて
アルゴンガス
二次側圧力0.05MPa~0.08MPa、接続1/4インチスウェージロック

水冷機構
流量1リットル/min、接続Φ6mmスウェージロック
冷却水循環装置、又は水道水の接続が必要です。

特徴

  • この装置は多目的簡易操作型マグネトロンスパッタ成膜装置です。
  • 小形卓上型・小スペース装置で、強磁場による多種金属の成膜が可能です。
  • 低い電圧でコーティングすると共に試料がフローティング式なので試料損傷を小さく抑えることが出来ます。
  • タッチパネル操作、レシピ機能、シーケンサー制御によるフルオートスパッタ成膜を実現しました。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V)15Aアース線付き3芯プラグ
装置サイズ W504mmxD486mmxH497mm
装置重量 37.7kg
ダイヤフラムポンプサイズ W170mmxD287mmxH173mm
ダイヤフラムポンプ重量 6.5kg
試料台サイズ 直径50mm(アノード電極分離フローティング方式)
電極-試料台間隔 115mm、95mm、70mm
PAGE TOP