ＶＥＳ－１０

装置の概要
この装置は、2つの独立したチャンバーを持ち、それぞれカーボン蒸着、マグネトロンスパッタ、親水処理の機能を有する装置です。１台で、当社製ＶＣ－１００Ｓ、ＭＳＰ－１Ｓ、ＰＩＢ－１０，３機種の性能を搭載しております。外付けロータリーポンプ排気で２系統の排気管切換を行っております。
また、それぞれのチャンバーは真空排気と大気解放を独立して行うことが出来、チャンバーは真空の保持が可能です。

用途
カーボン蒸着
TEM、SEM、X線分析等のカーボン膜作成装置です。樹脂包埋試料のチャージアップ防止等に使用します。

イオンスパッタ
SEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行います。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。

親水処理
透過電子顕微鏡のグリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイヤモンドナイフ等の親水化処理や、油脂汚れ等のクリーニングに使用します。
交流放電によるプラズマイオンを試料表面に照射します。試料表面の化学結合を断ち官能基を形成します。このため、活性状態となった試料表面と水分子との化学結合が促進され親水性となります。
また、油脂汚れ等の化学結合を断ち、汚れを除去する効果を得ることが可能です。
照射強さ（SOFT／HARD）の切り換えが可能です。