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VES-10


3台の装置が1つになりました

VES-10

装置の概要
この装置は、2つの独立したチャンバーを持ち、それぞれカーボン蒸着、マグネトロンスパッタ、親水処理の機能を有する装置です。1台で、当社製VC-100S、MSP-1S、PIB-10,3機種の性能を搭載しております。外付けロータリーポンプ排気で2系統の排気管切換を行っております。
また、それぞれのチャンバーは真空排気と大気解放を独立して行うことが出来、チャンバーは真空の保持が可能です。

用途
カーボン蒸着
TEM、SEM、X線分析等のカーボン膜作成装置です。樹脂包埋試料のチャージアップ防止等に使用します。

イオンスパッタ
SEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行います。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。

親水処理
透過電子顕微鏡のグリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイヤモンドナイフ等の親水化処理や、油脂汚れ等のクリーニングに使用します。
交流放電によるプラズマイオンを試料表面に照射します。試料表面の化学結合を断ち官能基を形成します。このため、活性状態となった試料表面と水分子との化学結合が促進され親水性となります。
また、油脂汚れ等の化学結合を断ち、汚れを除去する効果を得ることが可能です。
照射強さ(SOFT/HARD)の切り換えが可能です。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)1口
装置サイズ 幅400mm、奥行360mm、
ベース高さ280mm
CARBONチャンバー高さ +185mm
IONチャンバー高さ +101mm
装置重量 29kg
ロータリーポンプ 排気速度50ℓ/min
重量14.6kg
カーボン蒸着側仕様
試料室サイズ 内径120mm、高さ140mm(硬質ガラス)
蒸着源―試料台間隔 45mm~75mmの範囲で調整可能
試料ステージサイズ Φ100mm
搭載可能試料サイズ Φ98mm、最大試料高さ40mm
蒸着電源 BAKE、OUTGAS、EVAPO.
各固定電圧3段階切換、最適電圧にプリセット
イオンチャンバー側仕様
試料室サイズ 内径120mm、高さ65mm(硬質ガラス)
電極―試料台間隔 35mm固定
試料台サイズ Φ50mm(フローティング方式)
スパッタターゲット電極 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極 Φ51mm、厚さ0.1mm
Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag
スパッタ電源 DC500V、0~50mA(可変抵抗による調整)
親水処理用電極 Φ50mm、SUS製ターゲット
親水処理用電源 SOFT:450V、10~20mA
HARD:550V、20~30mA
(任意で切換可能)
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