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プラズマ処理装置 PIB-20

目次

装置概要

この装置は親水処理や有機素材の選択的エッチングなどに使用する装置です。主に電子顕微鏡試料の支持膜親水化、PDMS の貼り付け、油脂・有機材料などのエッチング(クリーニング)に使用されます。

雰囲気ガスの導入、圧力調整機能、電圧調整を装備しています。ガス種やガス導入量の調整であらゆる分野の研究に役立ちます。

試料台は大型サンプルをそのまま処理可能な大面積フラットステージを採用。電界のムラやコンタミネーションの付着を防止します。

マニュアル操作も右からボタンを順に押すだけのオペレーターに易しいレイアウト。調整・条件出し完了後は、中央のオートスイッチを押すだけで自動運転も可能です。

排気速度と放電条件のバランスを重視して、2系統の排気管を自動制御。イオンダメージに弱いサンプル・熱ダメージに弱いサンプルを親水処理するため、試料台はフローティング方式を採用。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。


PIB-20 装置の仕様

項目仕様
電源 AC100V(単相100V15A)1口
アース線付き3芯プラグ使用
装置サイズ 幅350mmx奥行き368mmx高さ350mm
(装置重量18Kg)
ロータリーポンプ 排気速度50ℓ/min(G-50DA)
重量11Kg
試料室サイズ内径149mmx高さ82mm(硬質ガラス)
電極―試料ステージ間隔35mm
試料ステージサイズΦ130mm(フローティング方式)
雰囲気ガスAir(空気)、Ar(アルゴン)、Ar+O(アルゴン酸素)等

PIB-20 消耗品・部品リスト

消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。

PIB-20用ガラス筒パッキン(2本1組)

PIB-20用ガラスチャンバー

その他メンテナンス・修理に関するお問い合わせはサービスお問い合わせよりご連絡ください。

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