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真空デバイス製品ラインナップ

SEM・TEM試料保管装置スパッタ装置カーボンコーター・蒸着装置・マルチ成膜装置
オスミウムコータープラズマ処理装置凍結乾燥装置・凍結割断装置


SEM・TEM試料保管装置


TVS-10T
増設可能なシングルポートチャンバーを搭載した保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。

TVS-40T
4本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。

SVS-100T(受注生産品)
タッチパネルを搭載し、全自動排気システムを備えた、卓上・小型、SEM試料保管装置です。


スパッタ装置


MSP-mini
超低価格・超小型
シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。

MSP-1S
低価格・低ダメージ型
低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。

MSP-30T
特殊金属全般のコーティングが可能!
多目的、多金属、実験用イオンスパッタ成膜装置です。

MSP20-UM
全自動機能付き貴金属コーター!!
スパッタ条件を細かく設定可能です。

MSP20-MT
4インチターゲット全自動機能付き貴金属コーター!!
大きな試料、多数の試料を処理可能です。

MSP20-TK
FE-SEM向けタングステンコーター
MO/Cr/Ni/Cuなどの金属をコーティングすることが可能です。

MSP-8in
8インチ試料台・ターゲット搭載!!
マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。

MSP-12in(受注生産品)
12インチ試料台搭載。
マグネトロンターゲット電極で、φ300mmサイズとφ50mmサイズが選択可能。


オスミウムコーター


HPC-20
高機能・低価格
タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あらゆる性能をパワーUPしました!

HPC-1SW
オスミウム金属成膜の基本装置
簡単操作で5nm以下の成膜が可能です。

HPC-Option
オスミウムコーターでは、装置の安全性を高めるための様々なオプションをご用意しております。


カーボンコーター・蒸着装置・マルチ成膜装置


VC-100S/100W
替え芯形カーボン専用。真空蒸着装置に代わる電子顕微鏡のためのカーボンコーターです。

VES-10
機能複合型
親水処理・カーボンコーター・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型複合装置です。

VE-2012
卓上型TMP蒸着装置
VE-2030(弊社製)のコンセプトを継承した簡易型卓上タイプの真空蒸着装置です。

VE-2030
多種オプション対応型
ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。

蒸着装置オプション
蒸着装置では多彩なオプションラインナップを揃えております。


プラズマ処理装置


PIB-10
簡易型
グリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイアモンドナイフ等の親水化処理に使用します。

PIB-20
高性能万能型
親水化処理、クリーニング、有機材料のエッチング、PDMSの貼付などに対応可能な高性能装置です。

PCU-30
走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。


t-ブチル凍結乾燥装置


VFD-21S
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。臨界点乾燥に代わる画期的乾燥法です。

VFD-30
全自動型凍結乾燥装置
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。AUTOスイッチを押すだけで全自動で処理を行います。


急速凍結装置


VFZ-101
凍結切片、凍結置換固定、フリーズエッチングレプリカ、凍結乾燥、凍結割断に。
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