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真空デバイス製品ラインナップ

SEM・TEM試料保管装置｜スパッタ装置｜カーボンコーター・蒸着装置・マルチ成膜装置
オスミウムコーター｜プラズマ処理装置｜凍結乾燥装置・凍結割断装置


SEM・TEM試料保管装置


TVS-40T
４本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。
TVS-40T
ダウンロード 404.88 KB

SVS-100T（受注生産品）
タッチパネルを搭載し、全自動排気システムを備えた、卓上・小型、SEM試料保管装置です。


スパッタ装置


MSP-mini
超低価格・超小型
シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。
MSP-mini
ダウンロード 322.64 KB


MSP-1S
低価格・低ダメージ型
低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。
MSP-1S
ダウンロード 217.06 KB

MSP-40T
特殊金属全般のコーティングが可能！
全自動スパッタ機能搭載、多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。
MSP-40T
ダウンロード 477.59 KB

MSP20-UM
全自動機能付き貴金属コーター！！
雰囲気圧力調整、電流調整、Ａｒガスの導入等、スパッタ条件を細かく設定可能です。
MSP-20UM
ダウンロード 315.46 KB

MSP20-MT
４インチターゲット全自動機能付き貴金属コーター！！
大きな試料、多数の試料を処理可能です。
MSP-20MT
ダウンロード 269.26 KB

MSP20-TK
ＦＥ－ＳＥＭ向けタングステンコーター
MO/Cr/Ni/Cuなどの金属をコーティングすることが可能です。
MSP-20TK
ダウンロード 272.60 KB

MSP-8in
８インチ試料台・ターゲット搭載！！
マグネトロンターゲット電極で、８インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。
MSP-8in
ダウンロード 295.22 KB

MSP-12in（受注生産品）
１２インチ試料台搭載。
マグネトロンターゲット電極で、φ３００ｍｍサイズとφ５０ｍｍサイズが選択可能。
MSP-12in
ダウンロード 310.72 KB

MSP-12S
ダウンロード 253.63 KB


オスミウムコーター


HPC-20
高機能・低価格。タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あらゆる性能をパワーＵＰしました！
HPC-20
ダウンロード 330.86 KB

HPC-1SW
オスミウム金属成膜の基本装置
簡単操作で５ｎｍ以下の成膜が可能です。
HPC-1SW
ダウンロード 255.63 KB

HPC-Option
オスミウムコーターでは、装置の安全性を高めるための様々なオプションをご用意しております。


カーボンコーター・蒸着装置・マルチ成膜装置


VC-300S／300W
替え芯形カーボン専用。真空蒸着装置に代わる電子顕微鏡のためのカーボンコーターです。
VC-300
ダウンロード 263.60 KB

VES-10
親水処理・カーボンコーター・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型複合装置です。
VES-10
ダウンロード 233.97 KB

VE-2013
卓上型ＴＭＰ蒸着装置
ＶＥ－２０５０（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型卓上タイプの真空蒸着装置です。
VE-2013
ダウンロード 289.33 KB

VE-2050
多種オプション対応型
ターボモレキュラーポンプ（ＴＭＰ）排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
VE-2050
ダウンロード 263.60 KB

蒸着装置オプション
蒸着装置では多彩なオプションラインナップを揃えております。


プラズマ処理装置


PIB-10
簡易型。グリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイアモンドナイフ等の親水化処理に使用します。
PIB-10
ダウンロード 224.19 KB

PIB-20
高性能万能型。
親水化処理、クリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付などに対応可能な高性能装置です。
PIB-20
ダウンロード 259.50 KB

PCU-30
ＲＦ電源クリーナー。
走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
PCU-30
ダウンロード 324.64 KB


t-ブチル凍結乾燥装置


VFD-21S
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。ｔ－ブチル凍結乾燥法は臨界点乾燥法に代わる画期的乾燥法です。
VFD-21S
ダウンロード 305.63 KB

VFD-30
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。ＡＵＴＯスイッチを押すだけで全自動で凍結乾燥処理を行います。
VFD-30
ダウンロード 342.71 KB


急速凍結装置


VFZ-101
凍結切片、凍結置換固定、フリーズエッチングレプリカ、凍結乾燥、凍結割断に。
VFZ-101
ダウンロード 218.51 KB
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