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MSP-20UM

※傾斜回転試料台装着時

MSP-20UM

この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。様々な用途に対応出来るよう、雰囲気ガスの導入機構、ガス雰囲気圧力調整機能、電流調整機能を備えています。また、条件設定に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。不純物の混入を最小限にするバイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実し、別途オプションで回り込み性能を向上させる傾斜回転機構をご用意しております。

用途
SEM観察試料の導電処理。FIB用保護膜の作成。元素分析用導電処理。
その他、電極作成や酸化防止膜の作成等幅広い目的に使用します。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)1口
アース線付き3芯プラグ使用
装置サイズ 幅350mmx奥行き420mmx高さ347mm
装置重量 18Kg
ロータリーポンプ 排気速度50ℓ/min(GLD-051)
重量14.6kg
試料室サイズ 内径149mmx高さ82mm(硬質ガラス)
電極―試料ステージ間隔 40mm
試料ステージサイズ Φ50mm(フローティング方式)
※オプション傾斜回転使用時
傾斜角度:0~45° 回転速度:60rpm
搭載可能試料サイズ 標準:≦Φ50mm、高さ≦20mm
※オプション傾斜回転使用時
傾斜時:≦Φ20mm、高さ≦20mm
スパッタターゲット金属仕様 Φ51mm、厚さ0.1mm(Agのみ0.5mm)
Pt、Au、Au-Pd、Pt-Pd、Pd、Ag
雰囲気ガス Air(空気)又はAr(アルゴン)
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