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VE-OPTION

VE-2012オプション

オプション 特徴・カタログ
CE-12形 クランプ電極
この部品は、Φ0.5mm専用カーボンを取り付けてカーボン蒸着を行うユニットです。
従来のカーボンロッド蒸着に比べて手間がかからず、非常に簡単に再現性良くカーボン成膜が可能です。
汚れ防止キャップ付きで、蒸着範囲を限定し、クリーニングの手間を軽減することが可能です。
HE-12形 金属蒸着ユニット
タングステンバスケットを装着し、金属の蒸着を行うユニットです。
金、銀、アルミ、クロムなどの金属蒸着が可能です。
汚れ防止キャップ付きなので、蒸着範囲が限定され、クリーニングの手間を軽減することが可能です。
電極の二極化 電極の二極化
標準では1対の電極を備えておりますが、電極を二極化することで、一度の蒸着量を増やしたり、同工程内で二種類の金属蒸着を行うことが出来るようになります。
基板ホルダー 基板ホルダー
蒸着を、下から上方に向けて行う際に、試料を固定するためのホルダーです。
サービスポート用チャンバー サービスポート用チャンバー
様々な用途で装置内部へアプローチするポートを備えたステンレス製のチャンバーを増設可能です。
膜厚計、温調用センサー、傾斜回転試料台の増設などに対応します。
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