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VE-OPTION

蒸着装置におきましては、各種実験用途に対応したオプションを多数揃えております。
こちらのオプションは通常の一例です。お客様のご希望の仕様に応じた改造も承りますので、どうぞお問い合わせください。

VE-2012オプション

オプション 特徴・カタログ
CE-12形 クランプ電極
この部品は、Φ0.5mm専用カーボンを取り付けてカーボン蒸着を行うユニットです。
従来のカーボンロッド蒸着に比べて手間がかからず、非常に簡単に再現性良くカーボン成膜が可能です。
汚れ防止キャップ付きで、蒸着範囲を限定し、クリーニングの手間を軽減することが可能です。
HE-12形 金属蒸着ユニット
タングステンバスケットを装着し、金属の蒸着を行うユニットです。
金、銀、アルミ、クロムなどの金属蒸着が可能です。
汚れ防止キャップ付きなので、蒸着範囲が限定され、クリーニングの手間を軽減することが可能です。
電極の二極化 電極の二極化
標準では1対の電極を備えておりますが、電極を二極化することで、一度の蒸着量を増やしたり、同工程内で二種類の金属蒸着を行うことが出来るようになります。
基板ホルダー
蒸着を、下から上方に向けて行う際に、試料を固定するためのホルダーです。
異物の落下・付着を最小限にする試料ホルダーです。
取付穴位置はご希望により変更可能です。
加熱用電極柱に絶縁対策を施します。
サービスポート用チャンバー
様々な用途で装置内部へアプローチするポートを備えたステンレス製のチャンバーを増設可能です。
膜厚計、温調用センサー、傾斜回転試料台の増設などに対応します。
VE-2012専用防爆カバー
ガラスベルジャーユニット一体型の防爆カバーです。
材質:アクリル

VE-2030オプション

オプション 特徴・カタログ
CE-01形 クランプ電極銃
この部品は、Φ0.5mm専用カーボンを取り付けてカーボン蒸着を行うユニットです。
従来のカーボンロッド蒸着に比べて手間がかからず、非常に簡単に再現性良くカーボン成膜が可能です。
電極は2対の板バネを擁し、数nm~100nm程度までの蒸着を可能とします。
主に元素分析(EDX・EPMAなど)、TEM支持膜や試料の補強、FIB加工用の保護膜作製に用いられます。
KZ-20形 カーボン蒸着銃
スプリングばねと比較すると寿命が長い板ばねによりカーボンロッドを押付け、止めネジで設定した長さのカーボンを蒸着します。円筒内で蒸発させることにより輻射熱の影響を軽減します。
φ5mm専用のカーボンロッドを使用します。
EB-20形 電子ビーム蒸発源 EBガン
加熱されたフィラメントから放出した熱電子を高電圧で加速します。加速された熱電子は永久磁場により偏向し、ルツボ内に乗せた蒸発物質へ照射されます。熱電子を照射された蒸発物質は発熱・蒸発して基盤等に薄膜を形成します。抵抗加熱方式に対し、高パワー・高密度・低不純物膜が得られます。
抵抗加熱方式でヒーターとなる高融点金属(タングステン・タンタル・モリブデンなど)と化合物を生成し易い物質やヒーターより高融点な物質の蒸着を可能にします。
※このオプションは水冷機構が必要です。
ZD-20形 ジンバル機構 ZD-20形 ジンバル機構
試料台を回転・連続傾斜させることにより、試料全体に均一な回り込みの良い蒸着が可能です。試料台を傾斜した状態で回転のみを行なう事により、ローアングルシャドウイングが可能です。
2源金属蒸着ユニット
2種類の金属を高真空下で蒸着することが可能です。電極切り替えで連続した異種金属蒸着が可能となります。
タングステンバスケットをユニット内に収めることにより輻射熱の影響も軽減します。
K-セル加熱・有機物蒸着源 K-セル加熱・有機物蒸着源
Ga・Se・As等の有機物をルツボ(PBN・石英)を用いて、一定温度に保持しながら蒸発させることを可能にします。
膜厚計 膜厚計
蒸着した膜の厚さを計測するユニットです。膜厚モニター(電源)・オシレーター・水晶振動子で構成されています。
※このオプションは水冷機構が必要です。
KN-20形 試料加熱機構 KN-20形 試料加熱機構
最高到達温度400度。試料焼きだし後の蒸着や、一定温度で過熱しながらの蒸着を可能にします。
SMR-1形 試料冷却機構
試料を冷却しながら蒸着が行える冷却試料台です。冷却機構はサーモモジュールを用いております。
上部試料ホルダー
半導体等への落下物(異物)を低減するためにサンプルを下向きに固定、蒸着を行うホルダーです。
上部回転試料ホルダー
半導体等への落下物(異物)を低減するためにサンプルを下向きに固定、蒸着を行うホルダーです。
ホルダーの回転機構により膜ムラの軽減を可能にしております。
KN-20形 試料加熱機構(上部取付形)
試料を加熱する際、異物の付着等を軽減するために上蓋部に半導体等を取り付ける機構です。試料焼きだし後の蒸着や、一定温度で過熱しながらの蒸着を可能にします。
(筒型ロングベルジャーへの改造が必要です)
TEMホルダー・クライオホルダー保管機構
サービスポートに専用のアタッチメントを増設し、TEMホルダー、クライオホルダーの真空保管が出来るユニットです。
マルチポートチャンバー
初期注文時のみ、多種・多様な測定器等を追加されるお客様にサービスポート×4を装備したチャンバーをご用意いたしました。
追加マルチポートチャンバー
現在標準チャンバー仕様の蒸着機をご使用のお客様に多種・多様な測定器等を追加可能な後付チャンバーをご用意いたしました。脱着可能。蒸着機を初期注文のお客様にもご利用いただけます。
筒型ロングベルジャー
サンプルへの輻射熱軽減を目的に、蒸着源からの距離を長くする為のベルジャーです。上蓋・上蓋用支柱・専用電極柱も含まれます。
安全性向上のために防爆金網もオプションでご用意いたしております。
耐熱性SUSベルジャー
蒸着装置を長時間連続で高温になるご使用方法をされるお客様向けのステンレス製防爆用耐熱ベルジャーです。
標準ガラスベルジャー用アクリルカバー
標準ガラスベルジャーの防爆用アクリル製カバーです。
ロングベルジャー用防爆金網 ロングベルジャー用防爆金網
ロングベルジャー用の防爆用金網カバーです。
ロータリーポンプ排気ダクトポート
オイルミストによる設置環境の汚染を防止するための排気ダクトポートです。
オイルミストトラップは専用のトラップをご用意いたします。
電源ラック(本体取り付け)
VEシリーズ本体に取り付けて電源などを収納する専用ラックです。
写真はXTM/2形膜厚モニターとアネルバ社製ペニング真空計を収納した例です。
電源ラック(単体)
VEシリーズの機能拡張用専用ラックです。各種付属品電源を全て収納することが出来ます。JISラックの規格以外の電源を収納する際は必要に応じて取付穴加工いたします。
地震対策用固定金具
装置本体にはキャスターのストッパー×4が装備されていますが、お客様の規格に合わなかった場合に本体側面又は前後にM10×2本のボルトで床固定することが可能な金具です。本体取付穴加工含。
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