ＭＳＰ－１Ｓ
この装置はSEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。
用途
SEM試料のためのメタルコーティング装置です。
主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | ＡＣ１００V（単相１００V１０A）アース付き３Pプラグ １口 |
| ロータリーポンプ | １０Ｌ／ｍｉｎ（装置に内蔵） |
| 装置サイズ | 幅２００mmｘ奥行き３５０ｍｍｘ高さ３４５ｍｍ （装置重量：１４．６Ｋｇ） |
| 試料室サイズ | 内径１２０ｍｍｘ高さ６５ｍｍ（硬質ガラス） |
| 試料台サイズ | 直径５０ｍｍ（フローティング方式） |
| 電極－試料台間隔 | ３５ｍｍ（補助試料台使用時２５ｍｍ） |
| ターゲット電極 | 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極 |
| ターゲット金属仕様 | Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ａｇ |
ターゲット金属について
初回注文の際はご指定の貴金属ターゲットが１枚付属致します。
使用目的に合わせてお選びください。
Ａｕ：金
観察領域：数千～１万倍
Ａｕ－Ｐｄ：金パラジウム
観察領域：１万～５万倍
低倍率観察に最適でコントラストが良い。
Ｐｔ：白金
観察領域：５万～１０万倍
Ｐｔ－Ｐｄ：白金パラジウム
観察領域：３万～５万倍
粒子径が細かく、高倍率で観察する際によく使われる。
