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MSP-1S

MSP-1S

この装置はSEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。

用途
SEM試料のためのメタルコーティング装置です。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V10A)アース付き3Pプラグ 1口
ロータリーポンプ 10L/min(装置に内蔵)
装置サイズ 幅200mmx奥行き350mmx高さ345mm
(装置重量:14.6Kg)
試料室サイズ 内径120mmx高さ65mm(硬質ガラス)
試料台サイズ 直径50mm(フローティング方式)
電極-試料台間隔 35mm(補助試料台使用時25mm)
ターゲット電極 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
ターゲット金属仕様 Φ51mm、厚さ0.1mm
Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag
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