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MSP-1S

MSP-1S

この装置はSEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。
用途
SEM試料のためのメタルコーティング装置です。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V10A)アース付き3Pプラグ 1口
ロータリーポンプ 10L/min(装置に内蔵)
装置サイズ 幅200mmx奥行き350mmx高さ345mm
(装置重量:14.6Kg)
試料室サイズ 内径120mmx高さ65mm(硬質ガラス)
試料台サイズ 直径50mm(フローティング方式)
電極-試料台間隔 35mm(補助試料台使用時25mm)
ターゲット電極 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
ターゲット金属仕様 Φ51mm、厚さ0.1mm
Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag

ターゲット金属について

初回注文の際はご指定の貴金属ターゲットが1枚付属致します。
使用目的に合わせてお選びください。


Au:金
観察領域:数千~1万倍
Au-Pd:金パラジウム
観察領域:1万~5万倍
低倍率観察に最適でコントラストが良い。

Pt:白金
観察領域:5万~10万倍
Pt-Pd:白金パラジウム
観察領域:3万~5万倍
粒子径が細かく、高倍率で観察する際によく使われる。
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