
VE-2013
VE-2013 は VE-2030(弊社製)のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。TMP を筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません。RP は床置き。
小型 TMP+RP の排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。複雑な排気操作を廃し、タッチパネルスイッチのON/OFFのみの全自動制御です。
タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。カーボン蒸着は専用カーボン(SLC-30)を使用して蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。(φ5mm カーボンロッドは使用出来ません。)
ご購入の際に、カーボン蒸着電極、又は金属蒸着電極を選択致します。オプションにより、追加で電極の購入も可能です。
カーボン蒸着電極

専用カーボン蒸着電極です。
高真空領域でのカーボン蒸着を可能とし、膜質、膜強度に優れたカーボン成膜が可能です。
付属の汚れ防止カバーにより、カーボン蒸着の飛散範囲を必要最低限に抑え、クリーニングの負担を軽減しております。
カーボン蒸着源には、専用カーボン(SLC-30)を使用致します。

専用カーボン蒸着電極です。
高真空領域でのカーボン蒸着を可能とし、膜質、膜強度に優れたカーボン成膜が可能です。
付属の汚れ防止カバーにより、カーボン蒸着の飛散範囲を必要最低限に抑え、クリーニングの負担を軽減しております。
カーボン蒸着源には、専用カーボン(SLC-30)を使用致します。
金属蒸着電極

φ0.5mmタングステンバスケット専用の、金属蒸着電極です。
金、アルミ、クロムなどの蒸着を、手軽に簡単に行うことが可能です。付属の汚れ防止カバーにより、蒸着範囲を最小限に抑え、クリーニングの負担も軽減しております。

φ0.5mmタングステンバスケット専用の、金属蒸着電極です。
金、アルミ、クロムなどの蒸着を、手軽に簡単に行うことが可能です。付属の汚れ防止カバーにより、蒸着範囲を最小限に抑え、クリーニングの負担も軽減しております。
主な製品仕様
項目 | 仕様 |
電源 | AC100V(単相100V15A) |
装置サイズ | 幅428mm、奥行き430mm、高さ550mm (装置重量38kg) |
ロータリーポンプ(外置き) | 排気速度50ℓ/min(G-50DA) (重量11kg) |
ターボポンプ(装置内蔵) | 排気速度67ℓ/sec |
試料ステージ | 直径72mm |
蒸着源-試料台間隔 | 0mm~140mmの範囲で調整可能 |
オプションについて
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