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HPC-オプションラインナップ

HPC-1SWオプション


OSK形 アンプル割断機構
HPC-1SW形、HPC-30W形タイプにそのまま装着可能です。
アンプルを装填する際に大気中に四酸化オスミウムが流出する心配がありません。
四酸化オスミウムを使い切るまで一切取り外す必要がありません。



HPC-20オプション

オプション 特徴・カタログ
OST-20形 オスミウムトラップ
この部品は、オスミウムを含むチャンバー内の気体を安全に清浄化するトラップです。
連結が可能で、捕集限界を迎えても外気に放出されない様にすることが可能です。内部には活性炭フィルターを使用しております。従来品に比べ、捕集効率に優れ、内部の気密性も向上いたしました。

HRP-20形 ロータリーポンプBOX
この装置は、HPC-20型オスミウムコーターのロータリーポンプ(RP)を収納して接続します。オイル漏れや捕集限界を迎えたトラップのOsO4漏れからお客様の安全を守ります。
OsO4が漏れ出しても、蒸気密度の高いOsO4はBOX底面に溜まり、ダクトより排出されます。
HPC-20型に付属するオスミウム(活性炭)トラップが2本付属。連結して使用します。ダクト接続口は、BOX内部用(熱排気用)とオスミウムトラップ用(局所排気)の2系統付き。

OSD-20形 ドラフトフード
この装置は、有害物質を含む薬品を使用する装置に使用する事により、人体への影響を軽減するためのドラフトフードです。
大型排出FAN、集塵用HEPAフィルター、活性炭フィルターを介して、ドラフト外に排出します。
電源には、系統別ブレーカーを装備し、ライト・FAN・内部コンセントの3系統で独立に遮断します。
FANとライトは、前面パネルに操作スイッチを配置し、操作を容易にしております。



SPG-20形 厚膜制御プログラム
このプログラムは、100nm程度のオスミウム膜を成膜するための専用プログラムです。
FIB保護膜等の厚い膜を成膜するためのプログラムです。
成膜回数、成膜時間、オスミウムガスチャージ時間の設定が可能で、1工程での処理が可能です。
完全自動制御により、成膜中は時間を有効に活用できます。

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