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MSP-12 in

MSP-12in

12インチウェハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング電圧 500V 以下でイオンダメージを軽減するマグネトロン方式を採用。
オートコーティング機能で脱ガスから雰囲気ガス導入・コーティングまで全自動。
試料の出し入れが簡単な前方スライド式試料ステージを搭載。Ag ターゲットを装着すれば、透明フィルムなどの光沢処理も簡単に可能。

コーティング領域の違いにより、12inタイプと12Sタイプをご用意!

MSP-12in
ターゲットの大きさが直径12インチ(直径300mm)あり、12インチウェハー全域をムラなくコーティングします。大面積へのコーティング、大量のサンプルコーティングに活躍致します。

MSP-12S
ターゲット電極の大きさは直径50mm。可動式ターゲットにより、12インチウェハーのような大面積サンプルの一部分をコーティングしたい場合に活躍致します。電極を小型化することによりランニングコストを抑えられます。また、大きなウェハーを割る必要もありません。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 単相AC100V15Aアース線付き3芯プラグ
装置サイズ 幅450mm、奥行き440mm、高さ427mm
(装置重量30kg)
ロータリーポンプ G-101D 幅234mm、奥行き500mm、高さ264mm
重量25Kg
コーティング室サイズ 内径330mm、高さ80mm
ターゲット電極サイズ 直径300mm
試料ステージ 直径300mm
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