オスミウムコーター
観察倍率が高いSEM試料やデリケートな有機材料、複雑な凹凸構造を持つ試料に低抵抗のオスミウム金属(非晶質&微細粒子)をコーティングし、導電処理を行う装置です。
「ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法」を採用し、低ダメージでオスミウムをコーティング可能。ホローカソード円筒内全域に高密度プラズマが発生し、均一にコーティング可能ですので試料サイズや試料高さでお悩みの方にもお薦めです。オスミウムコーターでは、装置を便利に、安全に運用するためのオプションが充実されています。
オプションについての詳細は、詳細ページをご覧ください。
HPCオプション