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オスミウムコーター

オスミウムコーター

観察倍率が高いSEM試料やデリケートな有機材料、複雑な凹凸構造を持つ試料に低抵抗のオスミウム金属(非晶質&微細粒子)をコーティングし、導電処理を行う装置です。
「ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法」を採用し、低ダメージでオスミウムをコーティング可能。ホローカソード円筒内全域に高密度プラズマが発生し、均一にコーティング可能ですので試料サイズや試料高さでお悩みの方にもお薦めです。オスミウムコーターでは、装置を便利に、安全に運用するためのオプションが充実されています。

オプションについての詳細は、詳細ページをご覧ください。
HPCオプション

装置 主な特徴 オプション
HPC-1SW
簡易オスミウムコーターです。
手動コーティングにより、スピーディーなコーティングを実現します。
オスミウムの取り扱いに精通した玄人向け低価格コーターです。
●OSK アンプル割断機構
HPC-20
タッチパネルを搭載した、全自動コーティングを備えた上位機種です。
誰でも簡単に、オスミウム成膜を行うことが可能です。
オスミウム割断機構を標準搭載し、アンプル交換も画面の表示に従って行います。
部品1個1個にこだわり、より強固な安全性能を実現しました。
より便利に、より安全に装置を運用するためのオプションを多数ご用意しました。
●HRP-20 ロータリーポンプBOX
●SPG-20 厚膜制御プログラム
●OSD-20 専用ドラフトフード
●OST-20 オスミウムトラップ

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