ＶＣ－３００Ｓ／３００Ｗ

この装置はロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が出来ます。
カーボン源は専用替え芯SLC-30をご使用下さい。
300Sの電極は一対、300Wの電極は2対あります。300Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。
ロータリーポンプ(RP)は外付け床置き形です。RPの振動に共鳴しないように、強固な作業台に設置して下さい。水冷は不要です。
用途
TEM、SEM、X線分析等のカーボン膜作成装置です。樹脂包埋試料のチャージアップ防止等に使用します。300WはXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作成に利用します。