MSP-mini
ボタンひとつでオートコーティング。煩わしい操作が一切ありません。ハイコストパフォーマンス機。MSP-1Sの弟分です。
小型ターゲット(φ30mm)を採用。低ランニングコストを実現。標準でAuターゲットが付属。卓上SEMの前処理に実力を発揮します。
オプションターゲットのAg膜は光沢に優れ、透明材料表面の光学顕微鏡観察を容易にします。
概要
この装置はマグネトロンターゲットによるメタルコーティング装置です。光学顕微鏡で透明素材の表面を観察する時(Agターゲット)や電子顕微鏡で少数個の試料に導電膜処理する時(Au/Agターゲット)に使用します。
主な製品仕様
項目 | 仕様 |
電源 | AC100V, 10A アース線付3芯プラグ使用 |
装置サイズ | 幅180mm、奥行き270mm、高さ183mm (装置重量4.2Kg) |
ロータリーポンプ | 排気速度5 ℓ/min(G-5DA) (ポンプ重量5.5Kg) |
試料室サイズ | 内径86mm、高さ60mm(硬質ガラス) |
試料ステージサイズ | Φ83mm |
試料サイズ | 有効径Φ30mm、高さ20mm以下 |
ターゲット | Φ30mm マグネトロン電極 Au(標準)、オプション(Ag) |