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MSP-mini

MSP-mini

ボタンひとつでオートコーティング。煩わしい操作が一切ありません。ハイコストパフォーマンス機。MSP-1Sの弟分です。
小型ターゲット(φ30mm)を採用。低ランニングコストを実現。標準でAuターゲットが付属。卓上SEMの前処理に実力を発揮します。
オプションターゲットのAg膜は光沢に優れ、透明材料表面の光学顕微鏡観察を容易にします。

概要
この装置はマグネトロンターゲットによるメタルコーティング装置です。光学顕微鏡で透明素材の表面を観察する時(Agターゲット)や電子顕微鏡で少数個の試料に導電膜処理する時(Au/Agターゲット)に使用します。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V, 10A アース線付3芯プラグ使用
装置サイズ 幅180mm、奥行き270mm、高さ183mm
(装置重量4.2Kg)
ロータリーポンプ 排気速度5 ℓ/min(G-5DA)
(ポンプ重量5.5Kg)
試料室サイズ 内径86mm、高さ60mm(硬質ガラス)
試料ステージサイズ Φ83mm
試料サイズ 有効径Φ30mm、高さ20mm以下
ターゲット Φ30mm マグネトロン電極
Au(標準)、オプション(Ag)
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