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MSP-20-MT

MSP-20MT

この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性、大型試料にもコーティング可能な4インチターゲットを搭載しています。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V,15A
アース線付き3芯プラグ
装置本体サイズ W350mmxD440mmxH350mm
装置本体重量 20kg
ロータリーポンプ 排気速度50ℓ/min(GLD-051)
重量14.6kg
試料室サイズ 内径149mmx高さ82mm(硬質ガラス)
電極―試料ステージ間隔 50mm
試料ステージ 直径100mm
搭載可能試料サイズ φ100mm (設置可能サイズφ130mm)
高さ35mm
スパッタターゲット金属仕様 直径100mm (実効径98mm)、 厚さ0.1mm
Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag
雰囲気ガス Air(空気)又はAr(アルゴン)
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