ＭＳＰ－２０ＭＴ
この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性、大型試料にもコーティング可能な４インチターゲットを搭載しています。
主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ、１５Ａ アース線付き３芯プラグ |
| 装置本体サイズ | 幅３５０ｍｍｘ奥行４４０ｍｍｘ高さ３５０ｍｍ （装置重量２０Ｋｇ） |
| ロータリーポンプ | 排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１） （重量１４．６ｋｇ） |
| 試料室サイズ | 内径１４９ｍｍｘ高さ８２ｍｍ（硬質ガラス） |
| 電極―試料ステージ間隔 | ５０ｍｍ |
| 試料ステージ | Φ１００ｍｍ |
| 搭載可能試料サイズ | >Φ１００ｍｍ（設置可能サイズΦ１３０ｍｍ） 高さ３５ｍｍ |
| スパッタターゲット金属仕様 | Φ１００ｍｍ（実効径９８ｍｍ）、厚さ０．１ｍｍ Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｔ-Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ |
| 雰囲気ガス | Ａｉｒ（空気）又はＡｒ（アルゴン） |
