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SVS-100T

SVS-100T

この装置は、SEM試料及び任意のサンプルを真空下で保管することを目的とし、保管中の試料を常に高真空下に保持しながら、試料の入出庫を随時行うことが可能な装置です。

特長
保管棚が2段構造になっており、多くの試料を保管することが可能です。
試料の収納・取り出しの際は、交換室を介して行います。そのため、保管室内は常に高真空が保たれます。

格納パレット
大:内寸W90-D28-H20.5
小:内寸W60-D28-H20.5
1段に6本ずつ、計・大12本、小12本の格納が可能です。

主な製品仕様

項目 仕様
入力電源 AC100V、10A。アース線付3芯プラグ使用。
装置寸法 幅728mmx奥行435mmx高さ440mm
排気系 ターボ分子ポンプ80L/sec ダイヤフラムポンプ20L/min
到達真空度 5x10-4Pa以下
ターボ分子ポンプ・ダイヤフラムポンプ
真空度測定 フルレンジ真空計、真空用圧力計
排気操作 タッチパネル・シーケンサによる自動制御
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