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HPC-1SW

HPC-1SW

特長
この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。プラズマ放電はホローカソード内で行われ、円筒内はプラズマエネルギーで分離した金属Os粒子で満たされます。円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A) 1口
装置サイズ 幅200mmx奥行き350mmx高さ375mm
装置重量 15.5Kg
ポンプサイズ 排気速度50ℓ/min(G-50DA特型)
幅156mmx奥行き341mmx高さ200mm
ポンプ重量 12Kg
試料室サイズ 内径120mmx高さ90mm(硬質ガラス)
カソードサイズ 内径105mmx深さ37mm(ホローカソード方式)
試料ステージサイズ 直径50mm(フローティング方式)
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