ＨＰＣ－１ＳＷ

特長
この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。ホローカソード内は一様な高密度プラズマが発生するため、試料の高さや材質に影響されることなく、円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。