様々な機器が並んでいる研究室などでは、装置が占有する面積も時には大きな問題となり得ます。そこで、設置状況別の配置参考図をまとめてみました。
また、ＨＰＣ－２０では、装置開発の段階で「物を乗せられる作業スペース」ということを検討して開発を行いました。フラットな面があると、作業の際に大変便利です。

目次【内容】

1. 卓上に設置し、ポンプを背面側に置く場合
2. 卓上に設置し、ポンプを隣に置く場合
3. 卓上に設置し、ポンプを床置きにする場合
4. 作業スペースを確保するパネルについて

卓上に設置し、ポンプを背面側に置く場合

装置本体の後方に、ポンプ及び排気管の設置スペースが必要となります。

設置寸法
幅４７０ｍｍ、奥行き３５０ｍｍと、ポンプ類設置用におよそ２５０ｍｍのスペースが必要となります。
奥行き６００ｍｍの卓上サイズがあるとベストです。

卓上に設置し、ポンプを隣に置く場合

装置後方に排気管と電源ケーブルの設置スペースをおよそ１００ｍｍ、装置の隣にポンプ設置用におよそ２１０ｍｍのスペースが必要となります。

設置寸法
幅６８０ｍｍ、奥行き４５０ｍｍのスペースが必要となります。ポンプは装置の左右どちら側でも設置可能です。

卓上に設置し、ポンプを床置きにする場合

卓上に設置した装置から、床上に設置したロータリーポンプとの接続を行った例です。
真空排気管は１ｍです。フレキシブルチューブのため、真空排気により１０％程度の収縮があります。テーブルの高さが７５０ｍｍ以上あると排気管が届かなくなる可能性もあるため、あらかじめメジャー等を使って設置高さを確認してください。どうしても届かない位置にロータリーポンプを置かなければならない場合は、排気管を増設してください。但し、排気効率低下の影響があるため、最大長さは２ｍまでとさせて頂いております。
デスクの背面が壁面であったりする場合は、装置左側の床上にロータリーポンプを配置する場合もあります。
本体を設置する作業台及びデスクの高さは６５０ｍｍ～７５０ｍｍを推奨としております。
ロータリーポンプの設置スペースは、幅２１０ｍｍ、奥行き３５０ｍｍ程度のスペースが必要です。

作業スペースを確保するパネルについて

装置開発の段階において、「物を乗せられる作業スペース」を確保することを検討しておりました。その結果、オスミウムチャンバー前とオスミウムチャンバー上部のカバー、真空チャンバー周囲にフラットなスペースを作ることが出来ました。
試料作成においては何かと細かい道具が必要となってきます。ＳＥＭの試料台であったりピンセット、カーボンテープや竹串など。手狭な研究室であれば尚の事、作業スペースは限られてしまいます。
作業台や道具置に、有効活用されれば幸いです。

ＨＰＣ－２０について
真空デバイスのオスミウムコーター【ＨＰＣ－２０】は、シーケンサーとタッチパネル制御によるフルオートオスミウム成膜装置です。お客様の「声」を装置に反映できるのは、実際に開発を行ったスタッフが、納品据え付けを行い、アフターフォローまでをカバーしているからです。
制御プログラムは定期メンテナンスの際に最新版をインストールしてお戻しします。