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オスミウムコーター【HPC-20】プログラムバージョンアップ【Ver10】

細かいマイナーアップデートを含む、機能アップとなります。プログラムのバージョンは【10】になります。
Ver10では、以下の機能が新たに追加されました。

  • オスミウムアンプル装填量のメモ機能
  • 成膜プロセス完了時のお知らせ機能

これらの機能が加わりました。

通常メンテナンスの指標として
オスミウムアンプル装填量のメモ機能が追加されました。オスミウムコーターは「車検」と同じように、定期的なメンテナンスが必要です。
メンテナンスの周期は、装置全体のメンテナンスが約2年毎、それ以外のメンテナンスはオスミウムアンプルの消費量によって定めております。
そのため、どのくらいアンプルを消費しているか記録を取っていくことが必要となってまいります。運用管理はお客様のもとで様々ですが、アンプルの使用量が装置側で記憶できれば運用の面でも安心につながります。

成膜プロセス完了時のお知らせ機能
HPC-20は、全自動でオスミウムコーティングが可能です。そのため、装置の前に留まる必要が無く別な作業を進めることが可能です。
通常のコーティングプロセスは大体6分~6分半程度ですが、ほかの作業を行っていると成膜の完了が気になることもございます。そこで、成膜プロセスの完了と共にブザーを鳴らし、オスミウムコーティングが完了したことをお知らせする機能を追加いたしました。
ON/OFFはもちろん切り替えが可能です。

HPC-20について
真空デバイスのオスミウムコーター【HPC-20】は、シーケンサーとタッチパネル制御によるフルオートオスミウム成膜装置です。お客様の「声」を装置に反映できるのは、実際に開発を行ったスタッフが、納品据え付けを行い、アフターフォローまでをカバーしているからです。
制御プログラムは定期メンテナンスの際に最新版をインストールしてお戻しします。

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