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スパッタ装置

スパッタ装置

マグネトロンスパッタの成膜

マグネトロンスパッタの成膜について少し詳しく見ていきましょう。図では分かりやすくアルゴンガスを導入したイメージを表し…

スパッタ

スパッタ装置、マグネトロンスパッタの原理

スパッタとはスパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。語源とされている「splutter」は飛び散ると…

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