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スパッタ装置
ＲＦスパッタの成膜原理と基礎知識について
RFスパッタとはRFスパッタとはRF(Radio Frequency)と呼ばれる高周波帯の電源を用いたスパッタ方…
マグネトロンスパッタの成膜
マグネトロンスパッタの成膜について少し詳しく見ていきましょう。図では分かりやすくアルゴンガスを導入したイメージを表し…
スパッタ装置、マグネトロンスパッタの原理
スパッタとはスパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。語源とされている「splutter」は飛び散ると…
