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スパッタ装置

RFスパッタの成膜原理と基礎知識について

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スパッタ装置

マグネトロンスパッタの成膜

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スパッタ

スパッタ装置、マグネトロンスパッタの原理

スパッタとはスパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。語源とされている「splutter」は飛び散ると…

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