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VE-2030

VE-2030

1歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
TMP はロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
VE-2030 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。ご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)
装置サイズ 幅500mm、奥行き574mm、高さ1070mm
(装置重量80.3kg)
ロータリーポンプ(装置内蔵) 排気速度50ℓ/min(G-50DA)
ターボポンプ(装置内蔵) 排気速度67ℓ/sec
真空度測定 フルレンジ真空計
試料ステージ 直径60mm
真空槽 内径200mmx高さ270mm
下部高さ110mmは金属製、内径55mmのサービスポートを搭載。

オプションについて

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