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VC-100S/VC-100W

VC-100S/100W

この装置はロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が出来ます。
カーボン源は専用替え芯SLC-30、又は弊社推奨のシャープペンシル替芯をご使用下さい。
100Sの電極は一対、100Wの電極は2対あります。100Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。
ロータリーポンプ(RP)を内蔵した一体形です。RPの振動に共鳴しないように、強固な作業台に設置して下さい。水冷は不要です。

用途
TEM、SEM、X線分析等のカーボン膜作成装置です。樹脂包埋試料のチャージアップ防止等に使用します。100WはXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作成に利用します。

カーボンコーティング成分分析比較


左からピュアカーボン・SLC-30・三菱Hi-UNI-B
通常真空蒸着装置で使用されるピュアカーボンに対して、φ0.5mmカーボンは遜色のないデータが得られています。
カーボンロッドの削りだし作業もなく、一回の蒸着量が安定していますので、再現性の高いカーボンコーティングが可能です。
専用替え芯SLC-30はオイルフリーで、焼きだし工程も省略が可能です。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)
装置サイズ W305mmxD370mmxH442mm
装置重量 29kg(ロータリーポンプ内蔵)
試料室サイズ 内径120mmx高さ140mm
蒸着源-試料台間隔 45mm~75mmの範囲で調整可能
試料ステージサイズ 直径100mm
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