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TVS-10T

TVS-10T

本装置はTEMホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
高速全自動排気なので操作はボタン一つで完了です。TEMホルダーポートはお客様のお使いのTEMホルダーに合わせて製造いたします。
ホルダー先端部が見られるガラス窓付き。

オプション
ランプ加熱ユニット
加熱方式:集光凹面鏡レンズ付ハロゲンランプによる加熱。
放熱方式:ファンによる空冷放熱。
温度制御:熱電対測温PID制御、電子タイマースイッチ付。
制御電源サイズ:280 W x 450D x 185 H

TEMホルダーポート追加
真空保管するTEMホルダーを2本保有されている場合、ポート付きのチャンバーを追加することにより2本挿しが可能です。
チャンバーの取付は容易に行うことが可能です。

クライオホルダー用排気ユニット
クライオホルダー部を排気する機能を追加可能です。
接続用変換継手は応相談で製作致します。

主な製品仕様

項目 仕様
排気系 20L/minダイヤフラムポンプ
80L/secターボ分子ポンプ
真空度測定 フルレンジ真空計
到達真空度 5x10-4Pa以下
装置サイズ W360 × D290 × H360
(W寸法はTEMホルダーにより異なります)
装置重量 17kg
電源 AC100V 10A,アース線付3芯プラグ使用
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