TVS-10T
オプション:ポート追加例
TVS-10T
本装置はTEMホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
高速全自動排気なので操作はボタン一つで完了です。TEMホルダーポートはお客様のお使いのTEMホルダーに合わせて製造いたします。
ホルダー先端部が見られるガラス窓付き。
オプション
ランプ加熱ユニット
加熱方式:集光凹面鏡レンズ付ハロゲンランプによる加熱。
放熱方式:ファンによる空冷放熱。
温度制御:熱電対測温PID制御、電子タイマースイッチ付。
制御電源サイズ:280 W x 450D x 185 H
TEMホルダーポート追加
真空保管するTEMホルダーを2本保有されている場合、ポート付きのチャンバーを追加することにより2本挿しが可能です。
チャンバーの取付は容易に行うことが可能です。
クライオホルダー用排気ポート
クライオホルダー部を排気する機能を追加可能です。
接続用変換継手は応相談で製作致します。
主な製品仕様
項目 | 仕様 |
電源 | AC100V 10A,アース線付3芯プラグ使用 |
装置サイズ | 幅360mm、奥行き290mm、高さ360mm(W寸法はTEMホルダーにより異なります) (装置重量17kg) |
排気系 | 20L/minダイヤフラムポンプ(外置き) 67L/secターボ分子ポンプ(装置内蔵) |
到達真空度 | 5x10-4Pa以下 |
真空度測定 | フルレンジ真空計 |