KANKE– Author –

オスミウムコーターには欠かせない、四酸化オスミウム結晶についての重要なお知らせです。過去に推奨品としてご案内をしておりましたオスミウムアンプルについて、想定以上の長さがあり、オスミウムチャンバーに入らないといった事例が報告されました。報...

オスミウムコーターでは、なるべく薄く導電性の良い膜を形成することが主な目的となりますが、ＦＩＢ用の保護膜として、１００ｎｍ程度の厚い成膜プログラムをご依頼いただきました。そこで新たに「厚膜」を目的とした制御プログラムの開発を行うこととな...

分子線セル（クヌーセンセル）とは 分子線セルとは、ルツボ内の原料をヒーターにて加熱することにより飽和蒸気圧の分子線を発生させ、基板に原子層を一層ずつ結晶成長可能な超高真空（10-8Pa程度以下）に対応の抵抗加熱型の蒸着源のことです。分子線セルの...

ＥＢガンとは EBガン（Electron Beam Gun）とは電子ビーム蒸着電子銃の簡易名称です。E型電子銃とも呼ばれ高真空中で電子銃のタングステンフィラメントを加熱する事によって発生する熱電子を、磁石による磁場の中で加速偏向し、水冷された銅製ルツボ内の蒸...

RFスパッタとは RFスパッタとはRF(Radio Frequency)と呼ばれる高周波帯の電源を用いたスパッタ方法です。DCスパッタでは行えない絶縁性ターゲットのスパッタ電源としてよく利用されます。色々なターゲットをスパッタ可能ですが、導入にはRFマッチングユニ...

スパッタとは スパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。語源とされている「splutter」は飛び散るという擬音を表します。おしゃべりの際に唾が飛ぶ飛沫や、アーク溶接の際に飛び散る火花をイメージしていただくと分かりやすいでしょう。 スパ...

装置の水冷設備について 真空デバイスの装置では、冷却水循環器が必要な装置とオプションがございます。装置との接続規格はφ６ｍｍ用接手となります。オプション品についても基本的には特例を除きφ６ｍｍでの接続としております。流量１リットル／ｍｉｎ以...

アルゴンガスの導入について 真空デバイスの装置では、雰囲気ガスとしてアルゴンガスの導入が必要なもの、推奨のものがございます。ガス導入設備においてはお客様準備品となっておりますので、以下をご参考にご準備いただけますと幸いです。 装置とガス設...

電子顕微鏡が医学、生物学の研究分野に応用されてからこれまでどんな応用技術が開発され応用されてきたか？これから先どのように展開していくのかを自身の経験を基に改めて考えその先に何があるのかを推測してみたいと思います。電子顕微鏡が発表された 19...

ＳＬＣ－３０は、Ｓｍｏｋｅｌｅｓｓ　Ｃａｒｂｏｎ（スモークレスカーボン）の文字ＳＬＣをとりまして名付けられました。その名の通り、焼き出しによる煙の出ない、油分やバインダー成分を含まない、替え芯型カーボンです。 シャープペンシル替え芯型のカ...