目次
装置概要
本装置は電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
低出力RF 13.56MHz励起プラズマ照射による高効率で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
TEM,SEM,FIB試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
チャンバー排気はターボポンプとスクロールポンプによるオイルフリーのクリーン排気システムです。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザーフレンドリーの装置となっています。
アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。
RF電源は、最大５０W以下で高周波電源の届出の必要はありません。
お持ちのTEMホルダーに合わせてアタッチメントを製作いたします。
タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
商品は、装置本体、スクロールポンプがセットになっております。
事前のホルダー打ち合わせと、現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。
PCU-40 装置の仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ(単相１００Ｖ１５Ａ)１口 アース線付３芯プラグ使用 |
| 装置サイズ | 幅４３０ｍｍ、奥行４００ｍｍ、高さ６００ｍｍ （重量３０Ｋｇ） |
| RF電源ユニットサイズ | 幅２５０ｍｍ、奥行４００ｍｍ、高さ２００ｍｍ |
| 排気系 | ９０Ｌ／ｍｉｎスクロールポンプ（外置き） ６７Ｌ／ｓｅｃターボ分子ポンプ（装置内蔵） |
| 到達真空度 | ５ｘ１０－４Ｐａ以下 |
| 真空度測定 | フルレンジ真空計 |
| プラズマ電源仕様 | 周波数１３．５６MHz 出力０～５０W可変 |
| 処理室 | TEMホルダー導入ポートｘ１ SEM試料用ステージ Φ４０ｍｍ |
| 導入ガス種 | アルゴン、アルゴン酸素、他 |
| LEAK用ガス | N2パージガス推奨（0.02～0.03MPa） |
金蒸着粒子のプラズマ照射によるコンタミネーション除去効果事例
プラズマ照射条件：
RF（13.56MHz）、励起Arプラズマ
20Pa、30W、4min
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