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VE-2012

VE-2012

VE-2012 は VE-2030(弊社製)のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。TMP を筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません。RP は床置き。
小型 TMP+RP の排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。複雑な排気操作を廃し、スイッチの ON/OFF のみのシンプルな操作系。
タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。カーボン蒸着はシャープペンシル型替え芯をカーボンとして蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。(φ5mm カーボンロッドは使用出来ません。)

ご購入の際に、カーボン蒸着ユニット、又は金属蒸着ユニットを選択致します。オプションにより、追加でユニットの購入も可能です。

カーボン蒸着ユニット

Φ0.5mmカーボン専用のカーボン蒸着ユニットです。
高真真空領域でのカーボン蒸着を可能とし、膜質、膜強度に優れたカーボン成膜が可能です。
汚れ防止キャップを装着することで、カーボン蒸着の飛散範囲を必要最低限に抑え、クリーニングの負担を軽減しております。
カーボン蒸着源には、専用カーボンSLC-30がお勧めです。
金属蒸着ユニット

タングステンバスケット専用の、金属蒸着ユニットです。
金、アルミ、クロムなどの蒸着を、手軽に簡単に行うことが可能です。汚れ防止キャップの採用で、蒸着範囲を最小限に抑え、クリーニングの負担も軽減しております。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)
装置サイズ W400mmxD425mmxH546mm
装置重量 25kg
ロータリーポンプ(外置) G-50DA、ポンプ重量11kg
排気系 TMP80ℓ/min、RP50ℓ/min
試料ステージ 直径72mm
蒸着源-試料台間隔 0mm~140mmの範囲で調整可能
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