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PCU-30

PCU-30

PCU-30 は、電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。低出力 RF 13.56MHz 励起プラズマ照射による高効率で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
TEM,SEM,FIB 試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。チャンバー排気はターボモレキュラーポンプ、スクロールポンプによる完全クリーン排気系です。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エネ装置となっています。
空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。RF 電源パワーは、最大50W 以下で高周波電源の届出の必要はありません。

PCU-30によるコンタミネーション除去効果

SEM観察においてコンタミネーションの付着でお困りではないでしょうか。PCU-30はサンプルに付着したコンタミネーションをクリーニングし、繰り返し観察を可能とするために利用されます。
試料:金蒸着粒子
SEM:日立S-4100(15KV)


SEM観察電子ビーム照射によるコンタミネーションと、プラズマ照射によるコンタミネーション除去(1回目)。
(RF励起Arプラズマ、20Pa/30W/4min照射)


SEM観察電子ビーム照射によるコンタミネーションの再付着と、プラズマ照射によるコンタミネーション除去(2回目)。
(RF励起Arプラズマ、20Pa/30W/4min照射)

PCU-30はハーフカスタマイズ仕様です

クリーニング対象となるホルダーに合わせ、チャンバー形状を設計致します。SEM試料、TEM試料どちらにも対応しております。
 

PCU-30はプラズマ照射の条件振り幅が広い

導入ガス種類は空気、アルゴン、アルゴン酸素に対応。
出力は1W~50Wまで、リニアに調整が可能です。
ダメージに弱いサンプルから、しっかりとパワーをかけたいサンプルまで、幅広く対応が可能となっております。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)
装置サイズ W480mmxD440mmxH390mm(架台部270mm)
チャンバー高さはご仕様に応じて変わります。
装置重量 約40kg(チャンバー仕様により異なります)
スクロールポンプ重量 約14kg(ISP-90)
排気系 TMP67ℓ/sec、SCRP90ℓ/min
プラズマ電源 周波数13.56MHz、出力0~50W
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