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PCU-30

PCU-30

PCU-30 は、電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上
を図る装置です。
低出力 RF 13.56MHz 励起プラズマ照射による高効率で試料損傷を抑制したクリーニング
が可能です。
TEM,SEM,FIB 試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
チャンバー排気はターボモレキュラーポンプ、スクロールポンプによる完全クリーン排気系
で油分寄せ付けないシステムです。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エ
ネ装置となっています。
空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。
RF 電源パワーは、最大50W 以下で高周波電源の届出の必要はありません。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)
装置サイズ W480mmxD440mmxH390mm(架台部270mm)
チャンバー高さはご仕様に応じて変わります。
装置重量 約40kg(チャンバー仕様により異なります)
スクロールポンプ重量 約14kg(ISP-90)
排気系 TMP80ℓ/min、SCRP90ℓ/min
プラズマ電源 周波数13.56MHz、出力0~50W
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