ＰＣＵ－３０
PCU-30 は、電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。低出力 RF 13.56MHz 励起プラズマ照射による高効率で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
TEM,SEM,FIB 試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。チャンバー排気はターボモレキュラーポンプ、スクロールポンプによる完全クリーン排気系です。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エネ装置となっています。
空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。RF 電源パワーは、最大５０W 以下で高周波電源の届出の必要はありません。
ＰＣＵ－３０によるコンタミネーション除去効果
ＳＥＭ観察においてコンタミネーションの付着でお困りではないでしょうか。ＰＣＵ－３０はサンプルに付着したコンタミネーションをクリーニングし、繰り返し観察を可能とするために利用されます。
試料：金蒸着粒子
ＳＥＭ：日立Ｓ－４１００（１５ＫＶ）
ＳＥＭ観察電子ビーム照射によるコンタミネーションと、プラズマ照射によるコンタミネーション除去（１回目）。
（ＲＦ励起Ａｒプラズマ、２０Ｐａ／３０Ｗ／４min照射）
ＳＥＭ観察電子ビーム照射によるコンタミネーションの再付着と、プラズマ照射によるコンタミネーション除去（２回目）。
（ＲＦ励起Ａｒプラズマ、２０Ｐａ／３０Ｗ／４min照射）
ＰＣＵ－３０はハーフカスタマイズ仕様です
クリーニング対象となるホルダーに合わせ、チャンバー形状を設計致します。ＳＥＭ試料、ＴＥＭ試料どちらにも対応しております。
主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | ＡＣ１００V（単相１００V１５A） |
| 装置サイズ | 幅４８０ｍｍ、奥行き４４０ｍｍ、高さ３９０ｍｍ（架台部２７０ｍｍ） ※チャンバー高さはご仕様に応じて変わります。 （装置重量約４０ｋｇ（チャンバー仕様により異なります）） |
| スクロールポンプ重量 | 約１４ｋｇ（ＩＳＰ－９０） |
| 排気系 | ＴＭＰ６７ℓ／sec、ＳＣＲＰ９０ℓ/min |
| プラズマ電源 | 周波数１３．５６ＭＨｚ、出力０～５０Ｗ |
アルゴンガス設備の案内
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