Loading

PDMSとプラズマ処理装置

PDMSとは

PDMSとは、ポリジメチルシロキサン(dimethylpolysiloxane)というシリコンの一種です。研究開発や工業的利用の場合、PDMSと呼称されることが一般的です。その用途は多様で、コクンタトレンズや医療機器、防水剤、潤滑油、耐熱タイルまで幅広く使用されています。

PDMSの特長

PDMSは、透明性があり自家蛍光が低く、価格も安く化学的に安定しており、加工性にも優れております。マイクロ流路などのバイオデバイスや生体材料への応用も盛んです。

<主な特長>

  • ガラスに匹敵する透明度
  • 化学的、生体的不活性 
  • 非毒性
  • 不燃性
  • 柔軟性

PDMSの用途

PDMSは、コンタクトレンズ、医用器具、コーキング剤、潤滑油、マイクロ流路など、身近なものから産業用途に至るまで幅広い分野で使われております。
特にバイオテクノロジー分野においては、マイクロ流路における生化学実験には欠かせないものになっております。

PDMSとプラズマ処理

非常に優れた材料で応用範囲も広いPDMSですが、これら技術の立役者として、プラズマ処理という技術が存在します。PDMSとプラズマ処理技術は密接につながっており、プラズマによる表面処理技術がさまざまな効果を付加し、幅広い分野に恩恵をもたらしていると言っても過言ではありません。

プラズマ処理で得られる効果

親水化

最も利用される効果で、樹脂材料などの疎水性材料を親水性にする効果です。マスクをし、部分的に親水性を持たせることで、液滴の選択的トラップなども可能です。

アブレーション

やや強いプラズマをサンプルに照射することにより、表面に付着した汚染物質の除去を行う効果です。主に、油分などの炭素、酸素、水素などの化学的共有結合をプラズマエネルギーの衝突によって断ち切り、分解させること(炭化水素を炭素と水素に分離)によりクリーニングを行います。複合的な材料の、化学結合の弱い部位から選択的にエッチングし、特定部位を露出させることにも応用されます。

ケミカルエッチング

反応性ガスを導入しプラズマを生成することにより、化学反応で昇華された物質をエッチングする効果です。

活性化

プラズマ照射による、材料表面の官能基を活性化させ、表面特性を変化させさまざまな活性効果を与えます。

その他

その他にも、気相成長法(CVD)技術などにもプラズマは応用されています。

プラズマによる表面改質を実験するための装置


PIB-20

PCU-30

PIB-20の特長

簡易操作

雰囲気圧力表示 10Pa~120Paの調整が簡単
1秒~99分59秒までの処理時間レンジ(時間レンジの変更可能)
可変電圧により、電流調整が簡単(0~50mA)

オート処理機能

処理条件を確定したあとは、一連のプラズマ処理操作を自動で行えるAUTOが便利
別な作業に取り掛かることができ、時間を有効に利用できます

Φ130mmの大面積試料ステージ

試料ステージはΦ130mmまで対応が可能。一度に複数のサンプルを処理してもOK。大きなサンプルにも対応可能にします。

雰囲気ガス導入可能

アルゴンガス、窒素ガス、酸素など、研究目的に応じたガス種を簡単に接続可能
ガス導入は、1/4インチサイズのスウェージロック接続を採用。

PCU-30の特長

高真空排気TMP搭載

高清浄環境により、反応ガスの雰囲気精度を高めます。

高周波RF電源によるプラズマ生成

通信設備ではない、50W以下低出力RF電源のため、総務省が定める高周波利用設備には該当しないため、利用の届け出が不要です。

柔軟なカスタマイズに対応する真空チャンバー

SEM試料やTEMホルダーなど、お手持ちのユーティリティに合わせたカスタマイズに柔軟に対応可能です。

SEM・TEM試料のコンタミネーション対策

SEM・TEM試料に付着したコンタミネーションを除去することが可能です。

研究用途に向けたプラズマ表面処理機器ラインナップ

PIB-10 (親水処理装置)
PIB-20 (親水処理装置・プラズマ表面処理装置)
PCU-30 (プラズマクリーニング装置)
HPC-1SW (メタルコーティング装置)
HPC-20 (メタルコーティング装置)

PAGE TOP