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VE-2050

VE-2050

一歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。
ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。高真空は膜純度の向上、膜密度の向上に貢献します。
タッチパネルのEVAC STARTのボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行います。タッチパネル+プログラム制御で操作ミスを防止する安全設計です。
VE-2050には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。ご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。

特 徴

・ヒータ電源:最大電流80A(標準ボート使用時)、電流計指示。
・真空排気系は冷却水不要の80L/sec TMP+50L/min RPと全電磁バルブよりなる全自動排気系です。
・タッチパネル操作で誤った手順で操作が出来ない安全機能搭載。
・TEMやSEMの絞り類のベーキングも短時間で完了し、時間の節約になります。
・メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。
・カーボンコーティングも丈夫で緻密な蒸着膜になります。カーボン補強や支持膜作成に効果を発揮します。
・停電時は全バルブが自動で閉じ、真空が保持されます。ロータリポンプのみ自動的にエアリークされます。
・停電が回復したら初期画面に戻ります。
・入力スイッチはサーキットプロテクタです。装置内で過電流が発生すると自動的にOFFになります。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V(単相100V15A)
装置サイズ 幅534mm、奥行き675mm、高さ1134mm
(装置重量80kg)
ロータリーポンプ(装置内蔵) 排気速度50ℓ/min(G-50DA)
ターボポンプ(装置内蔵) 排気速度67ℓ/sec
真空度測定 フルレンジ真空計
試料ステージ 直径58mm水平試料台(標準装着)
真空槽 内径200mmx高さ248mm
ICF70サービスポートを搭載。

カタログ

オプションについて

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