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SVS-100T

SVS-100T

この装置は、SEM試料及び任意のサンプルを真空下で保管することを目的とし、保管中の試料を常に高真空下に保持しながら、試料の入出庫を随時行うことが可能な装置です。

特長
保管棚が2段構造になっており、多くの試料を保管することが可能です。
試料の収納・取り出しの際は、交換室を介して行います。そのため、保管室内は常に高真空が保たれます。

格納パレット
大:内寸W90xD28xH18.0mm
小:内寸W60xD28xH18.0mm
1段に6本ずつ、計・大12本、小12本の格納が可能です。

主な製品仕様

項目 仕様
電源 AC100V、10A。アース線付3芯プラグ使用。
装置サイズ 幅728mm、奥行き435mm、高さ440mm
排気系 20L/minダイヤフラムポンプ(外置き)
67L/secターボ分子ポンプ(装置内蔵)
到達真空度 5x10-4Pa以下
真空度測定 フルレンジ真空計
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