ＶＥＳ－１０型　マルチ製膜装置

ＶＥＳ－１０型　マルチ製膜装置

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置。
シャーペンの替え芯を蒸着。
マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。
疎水性試料を簡単親水処理。
標準ターゲット金属は金パラジウム。
排気系は床置きRP。
イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。
機能切替はボタン一つで楽々。

製品仕様

ベース本体

1.電源：AC100V 15A（単相）
2.装置サイズ：W400mm×D300mm×H460mm　20Kg
3.排気系：RP50L/min
4.真空計：ピラニゲージ
5.到達真空度：1Pa
6安全対策：系統別ヒューズ採用

蒸着

1.蒸着電極：シャープペンシル芯専用カーボン蒸着電極専用

イオンスパッタ

1.ターゲット：マグネトロン平行平板方式φ50mm （Au，Au-Pd，Pt，Pt-Pd）
2.試料台：φ50mm　アノード電極分離フローティング方式
3.試料-ターゲット間：25～35mm
4.タイマー：電子タイマー　目盛0～1.2，3，12，30　単位ｓｅｃ，ｍｉｎ，ｈｒ　切替可能

親水処理

1.チャンバー：スイッチ切替でイオンスパッタと共用
2.モード：ＳＯＦＴ/ＨＡＲＤ選択

オプション

1.カーボン蒸着：４極２対電極（１００ｎｍ以上の膜圧を可能にします。）

製品index

マグネトロンイオンスパッタ

オスミウムコーター

凍結乾燥装置

ＶＦＤ－２１Ｓ

親水処理装置

カーボンコーター

ＶＣ－１００Ｓ／１００Ｗ

ＴＭＰ真空蒸着装置

マルチコーター

ＶＥＳ－１０

プラズマクリーナー

急速凍結装置

ＶＦＺ－１０１