ＶＥ－２０３０型　真空蒸着装置

ＶＥ－２０３０型　真空蒸着装置

１歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。VE-2030はターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
TMPはロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。
清浄高真空を手軽に!! VE-2030はEVAC STARTのボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
VE-2030には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。またご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。

VE-2030の特長
真空排気系は50L/sec TMP+50L/min RPと全電磁バルブよりなる全自動排気系です。液体窒素トラップ無しで10^-5Paの超高真空領域に入ります。
TMP排気系は始動,停止時の待機時間が不用です。試料をセットしスイッチONで高真空排気に入り、作業終了後はスイッチOFFで停止作業終了。
TEMやSEMの絞り類のベーキングも短時間で完了し、時間の節約になります。
メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。
カーボンコーティングも薄くて緻密な蒸着膜になります。カーボン補強や支持膜作成に効果を発揮します。
安全対策は万全です。停電時は全バルブが閉じ真空が保持されます。ロータリポンプには自動的にエアリークされます。停電が回復したらEVAC STARTのみで停電前の状態に復帰します。
入力スイッチはサーキットプロテクタです。装置内の電気回路に異常が発生すると自動的にOFFになります。
冷却水を使用しないので漏水の心配がありません。
VE-2030には多彩なオプションが用意されています。例えば

カーボン蒸着用カートリッジ:直径5mmまたは3mmのカーボンロッド用です。ヴェルジャー内の汚れを防止しながらカーボン蒸着ができます。
モーター駆動ジンバル試料台:SEM試料のメタルコーティングに使用します。
電子銃加熱蒸着装置:金や銀、アルミニウムなどの、比較的厚い蒸着膜作成に利用します。
サーモモジュール冷却試料台:5°Ｃまで冷却、50°Cまで加温できます。SEM試料のt-ブチルアルコール凍結乾燥などに利用できます。
加熱試料台:500°Cまで加熱できます。エピタキシー蒸着実験などに利用します。
膜厚モニター:水晶発振式膜厚測定装置が装着できます。
真空計:ピラニーゲージ、イオンゲージはオプションで装着できます。

製品仕様
真空槽
内径200mm×高さ270mm、下部110mmは金属製、上部160mmは硬質ガラス製。
金属部に内径55mmのサービスポートを設置。
試料ステージ
直径60mm水平回転試料台(標準装着) 。
モーター駆動、回転・傾斜試料台はオプション。
加熱用電極柱
2対4本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。
絞り焼きボート支持電極1対標準付属。タングステンバスケットによる金属蒸着、シャープペンシル芯によるカーボン蒸着が可能。
ヒータ電源
AC15V,50A。サイリスタ制御、電流計指示。
蒸着可能面積
柱利用、上からの蒸着時＝直径100mm以内。
柱を取り除き、下からの蒸着時＝直径180mm程度まで。
真空排気系統
主排気系
大口径電磁バルブ＋TMP(80L/sec)＋大型電磁バルブ＋ロータリポンプ(50L/min)
予備排気系
真空槽への接続管＋電磁バルブ＋PRへの分岐管。
エアリーク
真空槽＝電磁バルブ。RP＝電磁バルブ。
真空度測定
ペニングゲージ(標準装備)、ピラニゲージ(オプション)。
到達真空度
1×10^-4Pa(7.5×10^-7Torr)。
安全対策
停電時；全電磁バルブ閉、PRにエアリーク。停電回復時；真空系統は停止状態を保持。EVAC STARTで停電前の状態に復帰。
回路内過電流対策；15A超でサーキットプロテクタ作動、入力断。PR回路、真空排気系統、電極柱系電源回路別に溶断入力フューズ採用。
入力電源
AC100V,15A(単相)。
装置サイズ
幅500mm×奥行き574mm×高さ1070mm。重量=90kg(4輪ストッパー付キャスター装備)。