- VE-2012の特長
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- VE-2012はVE-2030（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。
- ＴＭＰを筐体内に収納したコンパクトな筐体を実現。（ＲＰは外置き。）
- 小型TMP＋RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。
- 複雑な排気操作を廃し、スイッチのON／OFFのみのシンプルな操作系。
- タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。
- カーボン蒸着はシャープペンシル替え芯をカーボンとして蒸着するクランプ蒸着銃。
- オプションのご要望・詳細に関するお問い合わせは弊社の代理店または営業担当までお問い合わせ下さい。
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- 製品仕様
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- ヒーター電極：1対（2対タイプはオプション。）
- 蒸着対象金属：金・アルミ・クロム・銀・チタン・カーボン その他
- 試料ステージ：直径85mm
- 蒸着源−試料間隔：0mm〜150mm
- チャンバーサイズ：内径160mmｘ深さ190mm
- 電極間電圧／電流：AC 0 ~30A 電流計読み取り
- 排気系：内蔵TMP80 L／min ＋外置RP 20L／min
- 真空度測定：フルレンジ真空計（デジタルメーター）
- 到達真空度：5×10-4 Pa 以下
- 安全対策：系統別フューズ、防爆カバーはオプション。
- 装置サイズ：本体W400XD380XH550(mm)26Kg
- 電源：単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用
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