ＶＣ－１００型　カーボンコーター

ＶＣ－１００型カーボンコーター

真空蒸着装置に代わる電子顕微鏡のためのカーボンコーターです。
カーボンは入手の容易なシャープペンシルのスペア芯です。
削る必要が無く、一回一本の飛ばし切り、操作簡単、再現性抜群。
XMA前処理・FIB保護膜（Wタイプ）・カーボン補強・支持膜作成・シャドウイング・レプリカも可能です。

用途
TEM、SEM、XMA用のカーボン蒸着装置です。切片や支持膜の補強、カーボン支持膜の作成、Ｘ線分析の際の導電蒸着などに使用します。応用動作としてTEM試料のPtシャドウイングやレプリカ作成、SEM試料のPtコーティングにも利用可能。
方法
カーボンはシャープペンシルのスペア芯を使用します。電極に芯をセットして成形型材（バインダー）を焼き出した後、真空排気を行い、芯が焼き切れるまで通電してカーボンを蒸発させます。Pt蒸着は芯にPt線を巻き付けて蒸発させます。
操作法
セレクトスイッチを切換え、HEATボタンを押すだけです。
特長
VC-100型はロータリーポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンは市販のスペア芯で入手が容易、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。芯の中心にPt線を巻き付けるとシャドウイングができます。これを応用すればレプリカも可能です。ロータリーポンプを内蔵した一体型で省スペース、低価格を実現。
製品仕様
試料室サイズ＝内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。
試料台サイズ＝直径100mm、蒸発源に対し40mm上下可能。
蒸発源と試料台の間隔＝30mm～70mm間に任意調節可能。
蒸着電源＝BAKE、OUTGAS、EVAPOの３段階、最適電圧にプリセット。
ロータリポンプ＝50 l/min。RP単体到達真空度1.3×10-1Pa。
装置到達真空度＝0.2Pa(1.5×10-3Torr)。
真空度監視＝ピラニゲージにて0.1Pa(7.5×10-4Torr)まで指示。
装置サイズ＝幅300mm×奥行き370mm×高さ435mm。
ロータリポンプ内蔵、卓上型、重さ＝29kg
電源＝単層AC100V,15A アース線付３芯プラグ使用

元素分析（日立化成製φ5mmカーボン：左、三菱鉛筆HI-UNI0.5B：右）