真空デバイス
(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の
設計・製造・要望に応える改造を
低価格短納期で行います。



PIB−20型
プラズマイオンボンバーダ

  • 好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。
  • TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、PDMSの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。
  • フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでOK!
  • RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で!


  • 特長
  • 大型フラット試料台を採用して、大きな試料もそのまま処理が可能です。
  • ガス導入&調整機能を搭載して、お好きな雰囲気ガスを接続できます。
  • ハイドロカーボンの付着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。
  • 調整操作もラクラク!黄色SWを右から順に押していくだけです。
  • 繰り返し処理を行う時は緑SWを押すだけで全自動処理します。
  • 試料チャンバーは真空保持が可能。真空保管装置としてもご利用いただけます。
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  • 操作方法
  • はじめにLEAKスイッチを押してチャンバーを大気圧にします。
  • 希望の処理時間にタイマーをセットします。
  • 試料をセットしてスタートボタンを押すと予備排気から雰囲気ガス導入、高圧放電まで自動的に進行し、終わると自動的にストップしエアリークされます。
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  • 製品仕様
  • 装置サイズ=W354mm×H351mm×D420mm。RP床置き、卓上型。重さ=10kg。
  • 試料室サイズ=内径149mm×深さ82mm、硬質ガラス製。
  • 電極サイズ=直径70mm、アルミ製。
  • 試料台サイズ=φ130mmフラット大面積試料ステージ。(フローティング方式採用)
  • 電極−試料台間隔=35mm 固定。
  • プラズマ発生源=AC0V〜700V,0mA〜50mA 平行平板電極
  • 排気系=50?/min RP、メイン・サブ排気管を自動切換え。
  • ガス導入=1/4”スウェージロック(チューブ・減圧弁・ボンベはお客様準備品。)
  • 電源=単層AC 100 V, 15A アース線付3芯プラグ使用
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応用サンプル写真