- 特長
- 大型フラット試料台を採用して、大きな試料もそのまま処理が可能です。
- ガス導入&調整機能を搭載して、お好きな雰囲気ガスを接続できます。
- ハイドロカーボンの付着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。
- 調整操作もラクラク!黄色SWを右から順に押していくだけです。
- 繰り返し処理を行う時は緑SWを押すだけで全自動処理します。
- 試料チャンバーは真空保持が可能。真空保管装置としてもご利用いただけます。
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- 操作方法
- はじめにLEAKスイッチを押してチャンバーを大気圧にします。
- 希望の処理時間にタイマーをセットします。
- 試料をセットしてスタートボタンを押すと予備排気から雰囲気ガス導入、高圧放電まで自動的に進行し、終わると自動的にストップしエアリークされます。
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- 製品仕様
- 装置サイズ=W354mm×H351mm×D420mm。RP床置き、卓上型。重さ=10kg。
- 試料室サイズ=内径149mm×深さ82mm、硬質ガラス製。
- 電極サイズ=直径70mm、アルミ製。
- 試料台サイズ=φ130mmフラット大面積試料ステージ。(フローティング方式採用)
- 電極−試料台間隔=35mm 固定。
- プラズマ発生源=AC0V〜700V,0mA〜50mA 平行平板電極
- 排気系=50?/min RP、メイン・サブ排気管を自動切換え。
- ガス導入=1/4”スウェージロック(チューブ・減圧弁・ボンベはお客様準備品。)
- 電源=単層AC 100 V, 15A アース線付3芯プラグ使用
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