ＰＣＵ－３０型　プラズマクリーナー

ＰＣＵ－３０型　ＳＥＭ用プラズマクリーナー
多目的簡易操作型SEM用RFプラズマクリーナー

SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。
当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。
低エネルギープラズマで試料損傷を回避。
クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的
観察によるコンタミネーションを除去し、分析・分解能向上。
SEMホルダー・絞りのアンチコンタミが可能なハイコストパフォーマンスモデル。

特長
走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
低出力RF13.56MHz励起プラズマ照射による高効率化で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
TEM,SEM,FIB試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
チャンバー排気はTMP、スクロールポンプによるオイルフリーシステムです。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エネ装置となっています。
空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。
RF電源パワーは、最大５０W以下で高周波電源の届出の必要はありません。
製品仕様
試料：走査型電子顕微鏡試料及び試料ホルダー
電子線照射により堆積したコンタミ除去及び付着防止
排気系：90L/minスクロールポンプ､30L/secTMP
φ6mmチューブ接続エアー駆動式大口径バルブ（コンプレッサーはユーザ準備品)
真空度測定：フルレンジ真空計､シーケンサと連動スイッチON/OFF方式
到達真空度：５E-4 Pa以下
プラズマガス：空気、Ar, Ar-O2, 他対応
プラズマ電源：13.56 MHz,0～50W可変、出力表示ディジタルメータ
プラズマ点火表示ランプ、プラズマ照射時間制御電子タイマー付
タイマー：0~1,2,3,12,30／sec, min,hr各自由設定．電子タイマー
チャンバーサイズ：内径240mmφｘ深さ80mm SUSチャンバー
９ヶポートおよび覗窓付
装置サイズ：W 480mm X D 420mm X H 390mm(ﾌﾟﾗｽﾞﾏ銃取付＋210mm)
安全対策：サーキットプロテクタスイッチ、及び系統別フューズ付
電源：AC100V(単相100V)15 A,アース線付3芯プラグ使用
ガス：0.08～0.1MPa,配管 1／4”スウェジロック
（ガスボンベ及び減圧弁はユーザ準備）
オプション：加熱ユニット(光源+電源）、TEMホルダガイド(特注可能）

１．電子ビーム照射によるコンタミネーション
試料：金蒸着粒子
ＳＥＭ：日立Ｓ－４１００　１５ｋｅＶ

２．プラズマ照射によるコンタミネーション除去
　　プラズマ:Ａｒ２０Ｐａ３０Ｗ４ｍｉｎ
　　電源：ＲＦ（13.56ＭＨｚ）