ＰＣＵ－２０型　プラズマクリーナー

	ＰＣＵ－２０型　ＳＥＭ用プラズマクリーナー多目的簡易操作型SEM用RFプラズマクリーナー SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。プラズマ照射によるコンタミネーションを回避。 SEM試料室・交換室に装着可能。観察によるコンタミネーションを除去し、分析・分解能向上。装着脱が容易なハイコストパフォーマンスモデル。
特長走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。低出力RF13.56MHz励起プラズマ照射による高効率化で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。走査型電子顕微鏡試料、試料ホルダー、のアンチコンタミ処理が可能です。チャンバー排気は、SEM試料室、交換室の排気系をそのまま利用いたします。プラズマ銃は、試料交換室・直接試料室に装着してプラズマ照射が可能です。各種モデルSEM試料交換室または試料室への装着用アダプター部品は、特別付属部品として設計・製作対応させていただきます。空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。 RF電源パワーは、最大５０W以下で高周波電源の届出の必要はありません。製品仕様試料：走査型電子顕微鏡試料及び試料ホルダー電子線照射により堆積したコンタミ除去及び付着防止排気系：装着するSEMの試料室、試料交換室の排気系をそのまま利用します。真空度測定：装着するSEMの真空計をそのまま利用いたします。圧力調整：電磁開閉バルブ付ニードルバルブによりマニュアル調整プラズマガス：空気、Ar, Ar-O2, 他対応プラズマ電源：13.56 MHz,0～50W可変、出力表示ディジタルメータプラズマ点火表示ランプ、プラズマ照射時間制御電子タイマー付タイマー：0~1,2,3,12,30／sec, min,hr各自由設定．電子タイマープラズマ電源サイズ：250W X 300D X 135H　　重量　9Kg プラズマ銃サイズ　：70mmΦ X 220L ﾌﾟﾗｽﾞﾏ銃取付 NW-40 安全対策：系統別フューズ付電源：AC100V(単相100V)15 A,アース線付3芯プラグ使用ガス：0.08～0.1MPa,配管 1／4”スウェジロック（ガスボンベ及び減圧弁はユーザ準備）
１．ＰＣＵ－２０実装例（日立ＦＥ－ＳＥＭ）２．電子ビーム照射によるコンタミネーション試料：金蒸着粒子ＳＥＭ：日立Ｓ－４１００　１５ｋｅＶ３．プラズマ照射によるコンタミネーション除去　　プラズマ:Ａｒ２０Ｐａ３０Ｗ４ｍｉｎ　　電源：ＲＦ（13.56ＭＨｚ）