ＭＳＰ－ｍｉｎｉ型　マグネトロンスパッタ装置

	ＭＳＰ－ｍｉｎｉ型マグネトロンスパッタ装置試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現。光学顕微鏡の透明材料表面を観察する際に簡単に光沢膜コート。オプションのＡｕターゲット選択で、簡単に小型ＳＥＭ用の導電膜コート。
用途光学顕微鏡試料（透明材料）又は、SEM試料のためのメタルコーティング装置です。原理マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングします。特長シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。操作法試料をセットします。コーティング厚さに応じてタイマーをセットします。スタートボタンを押すと予備排気からコーティングまで自動的に進行します。コーティングが終わるとRPが止まり、自動的にエアリークされます。製品仕様装置サイズ＝幅190mm×高さ176mm×奥行き260mm PR外置き、卓上型。重さ＝5kg。試料室サイズ＝内径86mm×深さ60mm。硬質ガラス製。ターゲット電極サイズ＝直径32mm、永久磁石内蔵マグネトロン型。試料台サイズ＝直径83mm、フラット試料台。ターゲット金属＝Ａｇ(標準装備)、Ａｕ（オプション）電極ー試料台間隔＝30mm、間隔調節用補助台はオプション。ターゲット使用限度回数＝1000～5000回電源＝単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用
コーティングレート（Ａｇ／Ａｕ共通）応用サンプル写真