ＭＳＰ－２０－ＭＴ型　マグネトロンスパッタ装置

ＭＳＰ－２０－ＭＴ型
マグネトロンスパッタ装置

電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。
マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。
４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。
様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。
条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。
条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。
雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。
アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。
インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。

ＭＳＰ－２０－ＭＴの特徴
この装置は電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。
ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。
アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍。
マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。
押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。
調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロールスイッチを押すだけ。
排気速度と放電条件のバランスを重視して、２系統の排気管を自動制御。
イオンダメージ、熱ダメージに弱いサンプルにコーティングするため、ターゲットにマグネトロン方式を採用。
ターゲット金属板（Ａｕ－Ｐｄ）を標準で付属。ご希望のターゲットに変更可能です。
（但し、購入価格は一律となっております。ご了承下さい。）
製品仕様
1.ターゲット：φ100mm　マグネトロン方式
2.ターゲット金属(厚さ0.1mm)：Au-Pd（標準）,Au,Pt,Pt-Pd,Pd,Ag(厚さ0.5mm)
3.印加電圧／電流：電圧ＤＣ０～５００Ｖ／電流ＤＣ０～２００ｍＡ
4.試料ステージ：φ100mm　フローティング方式
5.ターゲット－試料　間隔：40mm
6.試料サイズ：直径：≦φ100mm,高さ：≦30mm
7.チャンバーサイズ：内径149mm　深さ82mm
8.タイマー：OMRON社製電子タイマー
9.排気系：外置き　ＲＰ50ﾘｯﾀｰ/min　15kg
10.到達真空度：１（Pa）以下
11.雰囲気ガス導入：1/4’導入パイプ,0.05MPa以下使用
12.安全対策：系統別ヒューズ、上蓋開放感知センサー
13.装置サイズ：本体　W354mmｘH350mmｘD331mm　16kg
14.電源：AC100V,15A　アース線付３芯プラグ使用