ＭＳＰ－１Ｓ型　マグネトロンスパッタ装置

	ＭＳＰ－１Ｓ型マグネトロンスパッタ装置試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。
用途 SEM試料のためのメタルコーティング装置です。原理マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングします。特長低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。操作法試料をセットします。コーティング厚さに応じてタイマーをセットします。スタートボタンを押すと予備排気からコーティングまで自動的に進行します。コーティングが終わるとRPが止まり、自動的にエアリークされます。製品仕様装置サイズ＝幅200mm×高さ350mm×奥行き340mm PR内蔵、卓上型。重さ＝14kg。試料室サイズ＝内径120mm×深さ65mm。硬質ガラス製。ターゲット電極サイズ＝直径55mm、永久磁石内蔵マグネトロン型。ターゲット金属：Au-Pd(標準装備) 試料台サイズ＝直径50mm、アノード電極分離フローティング方式。標準付属ターゲット＝Au-Pd。オプション＝Au,Pt-Pd,Pt。電極ー試料台間隔＝35mm、間隔調節補助台付属。ターゲット使用限度回数＝1000～3000回電源＝単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用
コーティングレート（Ａｇ／Ａｕ共通）応用サンプル写真