●マグネトロンスパッタ装置

ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界により電子をターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したのがマグネトロンスパッタ装置です。 当社のマグネトロンスパッタ装置は、試料へのダメージが極めて少ないことが特徴です。
スパッタさせる金属の種類、試料の大きさ、小型で安価など、お客様のご要望に合ったラインナップを各種揃えております。

項目	ＭＳＰ−ｍｉｎｉ	ＭＳＰ−１Ｓ	ＭＳＰ−８ｉｎ	ＭＳＰ−１２ｉｎ	ＭＳＰ−３０Ｔ
試料室サイズ	８６φｘ６０	１２０φｘ６５	２３０φｘ８０	３３０φｘ８０	１５０φｘ１５０
ターゲット	Ａｇ	Ａｕ−Ｐｄ	Ｐｔ	Ｐｔ	製品ページ参照
ターゲットサイズ	３０φ	５０φ	２００φ	３００φ・５０φ	５０φ
排気性能	５Ｌ／ｍｉｎ	１０Ｌ／ｍｉｎ	１００Ｌ／ｍｉｎ	１００Ｌ／ｍｉｎ	ＴＭＰ排気
操作	Ａｕｔｏ	Ａｕｔｏ	Ａｕｔｏ／Ｍａｎｕ	Ａｕｔｏ／Ｍａｎｕ	Ｍａｎｕ
対象	光顕・卓上ＳＥＭ	卓上・汎用ＳＥＭ	側長ＳＥＭ	側長ＳＥＭ	電極作製他
雰囲気ガス	Ａｉｒ	Ａｉｒ	Ａｉｒ・Ａｒ	Ａｉｒ・Ａｒ	Ａｒ
その他機能	小型・低価格	低価格			ターゲット水冷式 ターゲットシールド ニードルバルブ
オプション	Ａｕ	Ａｕ・Ｐｔ・Ｐｔ−Ｐｄ	Ａｇ	Ａｇ

項目	ＭＳＰ−２０−ＵＭ	ＭＳＰ−２０−ＭＴ	ＭＳＰ−２０−ＴＫ
試料ステージ	５０φ　傾斜回転機構付き試料台	１００φ　フローティング方式	５０φ　フローティング方式
標準ターゲット	Ｐｔ	Ａｕ−Ｐｄ	Ｗ（タングステン）
ターゲットサイズ	５０φ	１００φ	５０φ
排気性能	５０Ｌ／ｍｉｎ	５０Ｌ／ｍｉｎ	１３５Ｌ／ｍｉｎ
操作	Ａｕｔｏ／Ｍａｎｕ	Ａｕｔｏ／Ｍａｎｕ	Ａｕｔｏ／Ｍａｎｕ
雰囲気ガス	Ａｉｒ・Ａｒ	Ａｉｒ・Ａｒ	Ａｒ
その他機能	シーケンス制御によるオートコーティング機能を標準装備 上蓋開閉検知センサーで誤操作防止 電子タイマー搭載

●オスミウムコーター

プラズマによりオスミウムガスを分解・化学変化させ、サンプル上に非晶質金属膜をコーティングさせます。 当社製品はホローカソード・プラズマＣＶＤ法を応用した装置です。

項目	ＨＰＣ１ＳＷ	ＨＰＣ−３０Ｗ	ＨＰＣ−２２０
試料室サイズ	１２０φｘ９０	１５０φｘ１００	２５０φｘ１２０
最大試料サイズ	１００ｍｍφ	１２５ｍｍφ	２２５ｍｍφ
排気性能	５０Ｌ／ｍｉｎ	５０Ｌ／ｍｉｎ	５０Ｌ／ｍｉｎ
ガス導入方式	タイマー制御	ニードルバルブ＋タイマー制御	ニードルバルブ＋タイマー制御
オプション	オスミウム割断機構	オスミウム割断機構	オスミウム割断機構

●プラズマ処理装置

液体中に含まれる微小試料を観察する上で、親水処理を行うことにより水滴がなじんで広がり、サンプルが綺麗に分離されて電顕観察がし易くなる。当社ではイオン・ボンバード法を応用した親水処理装置を製作しています。
ボタンひとつで簡単に処理が行えるＰＩＢ−１０。細かい処理時間や雰囲気ガスを調整可能でソフトエッチングやＰＤＭＳの貼付が可能なＰＩＢ−２０。ＳＥＭ観察で付着したコンタミ除去が可能なＰＣＵ−３０などをラインナップしております。

項目	ＰＩＢ−１０	ＰＩＢ−２０
試料室サイズ	１２０φｘ６５	１５０φｘ８０
試料台サイズ	５０ｍｍφ フローティング方式	１３０ｍｍφ フラット大面積ステージ フローティング方式
ガス導入	無	有
その他機能	ＳＯＦＴ／ＨＡＲＤ切換え	ＰＤＭＳ貼付

項目	ＰＣＵ−２０	ＰＣＵ−３０
雰囲気ガス	空気、アルゴン、アルゴン酸素、他	空気、アルゴン、アルゴン酸素、他
電源方式	低出力RF13.56MHz	低出力RF13.56MHz
特徴	試料交換室・試料室に装着してプラズマ照射が可能です。 RF電源パワーは、最大５０W以下で高周波電源の 届出の必要はありません。	卓上型、小型省スペース・簡易操作。 RF電源パワーは、最大５０W以下で高周波電源の 届出の必要はありません。

●蒸着専用機種

簡単操作・低価格・省スペースの蒸着装置です。低ランニングコストのＶＣ−１００。多彩なオプションを用意したＶＥ−２０３０、ＶＥ−２０３０の機能を継承し、小型・卓上タイプへと発展させたＶＥ−２０１２がラインナップ。

項目	ＶＣ−１００	ＶＥ−２０１２	ＶＥ−２０３０
試料室サイズ	１２０φｘ１４０	１６０φｘ１９０	２００φｘ２７０
排気性能	５０Ｌ／ｍｉｎ	ＴＭＰ排気	ＴＭＰ排気
蒸着の種類	シャープペン替え芯 を利用したカーボン蒸着	絞り焼きボート タングステンバスケットによる金属蒸着 カーボン蒸着銃 クランプ蒸着銃	絞り焼きボート タングステンバスケットによる金属蒸着 カーボン蒸着銃 クランプ蒸着銃
特徴	低ランニングコスト	小型卓上・全自動排気	全自動排気
オプション	Ｗ電極	回転試料台他	オプションリスト

●機能複合機種

イオンスパッタ・親水処理・カーボン蒸着、これらの機能を１台に凝縮しました。プログラム制御で操作は簡単。同排気系で独立したチャンバーが２個搭載されていることが特徴です。

ＶＥＳ−１０
マグネットスパッタ	親水処理	カーボン蒸着
ターゲット：貴金属	ＳＯＦＴ／ＨＡＲＤ切換	シャープペンシル専用 カーボン蒸着電極 オプションで４極２対電極

●凍結乾燥装置

生物や植物など、含水サンプルの形態保持をしつつ乾燥（フリーズドライ）させるための装置です。
これまで普及していた臨界点乾燥装置に代わる、ｔ−ブタノールを利用した凍結乾燥装置です。

ＶＦＤ−２１Ｓ

●急速凍結装置

液体窒素温度での急速凍結装置です。凍結切片、凍結置換固定、フリーズエッチングレプリカ、凍結乾燥、凍結割断に！！

ＶＦＺ−１０１	ＶＦＺ−１０	ＶＦＺ−１