- 省スペース・低価格・高性能でお客様を支える装置を多種ラインナップ
- 特殊真空部品や装置の設計・製作・加工を低価格・短納期で行ないます。
- お手持ちの真空装置をお客様の仕様に改造も行ないます。
- また、装置の購入が不可能なお客様の為に受託成膜業務も行ないます。
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マグネトロンイオンスパッタ
MSP-mini超低価格・超小型
シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。
製品カタログ
MSP-1S低価格・低ダメージ型
低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。
製品カタログ
MSP-30T特殊金属全般のコーティングが可能！
多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。
製品カタログ
MSP-20-UM全自動機能付き貴金属コーター！！
傾斜機構付き試料回転ステージが標準でついています。
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MSP-20-MT４インチターゲット全自動機能付き貴金属コーター！！
大きな試料、多数の試料を処理可能です。
製品カタログ
MSP-20-TKＦＥ−ＳＥＭ向けタングステンコーター
MO/Cr/Ni/Cuなどの金属をコーティングすることが可能です。
製品カタログ
MSP-8in８インチ試料台・ターゲット搭載！！
マグネトロンターゲット電極で、８インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。
製品カタログ
MSP-12in/MSP-12S１２インチ試料台搭載。
マグネトロンターゲット電極で、φ３００ｍｍサイズとφ５０ｍｍサイズが選択可能。
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オスミウムコーター
HPC-1SW簡易型
ホローカソード試料台による低電圧放電ＣＶＤ法により試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。
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HPC-30W多目的型
試料のサイズはホローカソード内に入る大きさであれば全面が均一にコーティングされます。
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HPC-220大型試料台採用
φ２２０ｍｍサイズの試料までコーティング可能な大型ステージを搭載し、非晶質金属オスミウム膜をコートします。
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凍結乾燥装置
親水処理装置
VFD-21S t ブチル凍結乾燥型
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。臨界点乾燥に代わる画期的乾燥法です。
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PIB-10簡易型
グリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイアモンドナイフ等の親水化処理に使用します。
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PIB-20高性能万能型
親水化処理、クリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付などに対応可能な高性能装置です。
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カーボンコーター
ＴＭＰ真空蒸着装置
VC-100S/VC-100Wシャーペン芯専用型
真空蒸着装置に代わる電子顕微鏡のためのカーボンコーターです。シャープペンシルのスペア芯を使用します。
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VE-2030多種オプション対応型
ターボモレキュラーポンプ（ＴＭＰ）排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
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VE-2012卓上型ＴＭＰ蒸着装置
ＶＥ−２０３０（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型卓上タイプの真空蒸着装置です。
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マルチコーター
プラズマクリーナー
VES-10機能複合型
親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置。
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PCU-30卓上小型
走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
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PCU-20ＳＥＭ本体取付型
ＳＥＭ試料室・交換室に装着可能なコストパフォーマンスに優れたプラズマクリーナーです。
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急速凍結装置
VFZ-101凍結切片、凍結置換固定、フリーズエッチングレプリカ、凍結乾燥、凍結割断に
製品カタログ
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